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1. (WO2015105219) APPAREIL DE DIAGNOSTIC PAR TRAITEMENT AU PLASMA POSSÉDANT UN MODULE DE COMMUNICATION POUR UNE UTILISATION EN PARALLÈLE D'UN MODULE DE MONOCHROMATEUR ET SPECTROSCOPIE D'ÉMISSION OPTIQUE À CAPTEUR INTÉGRÉ ET PROCÉDÉ FAISANT APPEL À CELUI-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/105219    N° de la demande internationale :    PCT/KR2014/000367
Date de publication : 16.07.2015 Date de dépôt international : 13.01.2014
CIB :
H01L 21/3065 (2006.01)
Déposants : PRIME SOLUTION CO., LTD. [KR/KR]; No. 105 (Geumjeong-dong, Dongyoung Central Tower) Sanbon-ro 324 Beongil 8 Gunpo-si Gyeonggi-do 435-050 (KR)
Inventeurs : HONG, Jang-Sik; (KR)
Mandataire : KIM, Jean-Won; No. 303 (Dangjeong-dong, Maxium Building) Gosanro 150 Gunpo-si Gyeonggi-do 435-833 (KR)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) PLASMA PROCESS DIAGNOSIS APPARATUS HAVING COMMUNICATION MODULE FOR PARALLEL USE OF MONOCHROMETER MODULE AND INTEGRATED SENSOR OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY AND METHOD FOR USING SAME
(FR) APPAREIL DE DIAGNOSTIC PAR TRAITEMENT AU PLASMA POSSÉDANT UN MODULE DE COMMUNICATION POUR UNE UTILISATION EN PARALLÈLE D'UN MODULE DE MONOCHROMATEUR ET SPECTROSCOPIE D'ÉMISSION OPTIQUE À CAPTEUR INTÉGRÉ ET PROCÉDÉ FAISANT APPEL À CELUI-CI
(KO) 모노크로미터 모듈과 통합 센서 발광분광기의 병행 사용을 위한 통신모듈을 갖는 플라즈마 공정 진단 장치 및 이의 사용방법
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed are a plasma process diagnosis apparatus having a communication module for the parallel use of a monochrometer module and an integrated sensor optical emission spectroscopy and a method for using the same. The plasma process diagnosis apparatus having a communication module for the parallel use of a monochrometer module and an integrated sensor optical emission spectroscopy, according to the present invention, comprises: a process chamber in which a process is performed using plasma; a view port for transferring emitted light in the process chamber to the outside; a monochrometer module connected to the view port through an optical cable to analyze the wavelength of light transmitted from the optical cable and transmit an etching-end signal; an integrated sensor optical emission spectroscopy connected to the process chamber to diagnose the plasma process by collecting different data from the process chamber and comparing the collected data with a preset reference value, and then transmit an etching-end signal; a communication module that selects the signal of the monochrometer module or the integrated sensor optical emission spectroscopy based on a signal of a controller; and the controller that determines process conditions of the process chamber and whether to continue to perform the process based on the etching-end signal of the monochrometer module or the integrated sensor optical emission spectroscopy. According to the present invention, it is possible to selectively use a monochrometer or a new type of integrated sensor optical emission spectroscopy for process termination in conventional plasma process equipment.
(FR)La présente invention concerne un appareil de diagnostic par traitement au plasma qui possède un module de communication pour une utilisation en parallèle d'un module de monochromateur et une spectroscopie d'émission optique à capteur intégré et un procédé faisant appel à celui-ci. L'appareil de diagnostic par traitement au plasma possédant un module de communication pour une utilisation en parallèle d'un module de monochromateur et une spectroscopie d'émission optique à capteur intégré, selon la présente invention, comprend : une chambre de traitement dans laquelle un traitement est exécuté à l'aide d'un plasma; un hublot permettant de transférer la lumière émise dans la chambre de traitement vers l'extérieur; un module de monochromateur raccordé au hublot au moyen d'un câble optique pour analyser la longueur d'onde de la lumière transmise depuis le câble optique et transmettre un signal de fin de gravure; une spectroscopie d'émission optique à capteur intégré connectée à la chambre de traitement pour diagnostiquer le traitement au plasma par la collecte de différentes données provenant de la chambre de traitement et la comparaison des données collectées avec une valeur de référence prédéfinie, puis pour transmettre un signal de fin de gravure; un module de communication qui sélectionne le signal du module de monochromateur ou de la spectroscopie d'émission optique à capteur intégré sur la base d'un signal d'un organe de commande; et l'organe de commande qui détermine des conditions de traitement de la chambre de traitement et s'il convient de continuer l'exécution du traitement sur la base du signal de fin de gravure du module de monochromateur ou de la spectroscopie d'émission optique à capteur intégré. Selon la présente invention, il est possible d'utiliser sélectivement un monochromateur ou un nouveau type de spectroscopie d'émission optique à capteur intégré pour mettre un terme à un traitement dans un équipement de traitement au plasma classique.
(KO)모노크로미터 모듈과 통합 센서 발광분광기의 병행 사용을 위한 통신모듈을 갖는 플라즈마 공정 진단 장치 및 이의 사용방법이 개시된다. 본 발명의 모노크로미터와 통합 센서 발광분광기의 병행 사용을 위한 통신모듈을 갖는 플라즈마 공정 진단 장치는 플라즈마를 이용하여 공정이 진행되는 공정챔버; 상기 공정챔버 내에서 방출되는 빛을 외부로 전달하는 뷰 포트; 상기 뷰 포트에 광케이블로 접속되어 광케이블로부터 전송된 빛의 파장을 분석하여 식각 종료 신호를 송신하는 모노크로미터 모듈; 상기 공정챔버와 연결되어 상기 공정챔버에서 서로 다른 데이터를 취합하여 미리 설정된 기준값과 비교하여 플라즈마 공정을 진단하고 식각 종료 신호을 송신하는 통합 센서 발광분광기; 상기 모노크로미터 모듈 또는 상기 통합 센서 발광분광기의 신호를 제어부의 신호에 의하여 선택하는 통신모듈; 및 상기 모노크로미터 모듈 또는 통합 센서 발광분광기의 식각 종료 신호에 의하여 챔버의 공정 조건들과 공정 진행 여부를 결정하는 제어부를 포함한다. 본 발명에 따르면, 기존의 플라즈마 공정 장비에서 모노크로미터를 사용 또는 새로운 형식의 통합 센서 발광분광기를 통한 공정 종료를 선택적으로 사용할 수 있다.
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)