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1. (WO2015101538) AGENCEMENT DE CATHODE, CANON À ÉLECTRONS ET SYSTÈME DE LITHOGRAPHIE COMPRENANT LEDIT CANON À ÉLECTRONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/101538    N° de la demande internationale :    PCT/EP2014/078995
Date de publication : 09.07.2015 Date de dépôt international : 22.12.2014
CIB :
H01J 3/02 (2006.01), H01J 1/28 (2006.01), H01J 1/46 (2006.01), H01J 37/07 (2006.01)
Déposants : MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. [NL/NL]; Computerlaan 15 NL-2628 XK Delft (NL)
Inventeurs : DINU-GÜRTLER, Laura; (NL).
HOGERVORST, Eric Petrus; (NL)
Données relatives à la priorité :
61/921,546 30.12.2013 US
Titre (EN) CATHODE ARRANGEMENT, ELECTRON GUN, AND LITHOGRAPHY SYSTEM COMPRISING SUCH ELECTRON GUN
(FR) AGENCEMENT DE CATHODE, CANON À ÉLECTRONS ET SYSTÈME DE LITHOGRAPHIE COMPRENANT LEDIT CANON À ÉLECTRONS
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a cathode arrangement (20) comprising: • - a thermionic cathode comprising an emission portion (30) provided with an emission surface for emitting electrons, and a reservoir (38) for holding a material, wherein the material, when heated, releases work function lowering particles that diffuse towards the emission portion and emanate at the emission surface at a first evaporation rate; • - a focusing electrode (40) comprising a focusing surface for focusing the electrons emitted from the emission surface of the cathode; and • - an adjustable heat source (50) configured for keeping the focusing surface at a temperature at which accumulation of work function lowering particles on the focusing surface is prevented.
(FR)L'invention concerne un agencement de cathode (20) comprenant : - une cathode thermionique incluant une partie d'émission (30) dotée d'une surface d'émission permettant d'émettre des électrons, et un réservoir (38) permettant de contenir un matériau, lequel matériau, lorsqu'il est chauffé, libère des particules diminuant le travail d'extraction qui se diffusent vers la partie d'émission et émanent au niveau de la surface d'émission à une première vitesse d'évaporation; - une électrode de concentration (40) comprenant une surface de concentration permettant de diriger les électrons émis à partir de la surface d'émission de la cathode; et - une source de chaleur réglable (50) conçue pour maintenir la surface de concentration à une température permettant d'empêcher l'accumulation de particules diminuant le travail d'extraction sur la surface de concentration.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)