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1. (WO2015101196) DISPOSITIF DE NIVELLEMENT DE FOCALISATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/101196    N° de la demande internationale :    PCT/CN2014/094771
Date de publication : 09.07.2015 Date de dépôt international : 24.12.2014
CIB :
G03F 9/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD. [CN/CN]; 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203 (CN)
Inventeurs : SONG, Haijun; (CN).
LU, Kan; (CN).
CHEN, Feibiao; (CN)
Mandataire : SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335 (CN)
Données relatives à la priorité :
201310747393.8  31.12.2013 CN
Titre (EN) FOCUSING LEVELING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE NIVELLEMENT DE FOCALISATION
(ZH) 一种调焦调平装置
Abrégé : front page image
(EN)A focusing leveling device, comprising: an illumination light source (201) for emitting a light beam, an illumination lens group (202), a projection lens group, an object (209) under detection, a detection lens group, a refraction unit, a relay lens group and a photoelectric detector (220), wherein the illumination lens group (202), the projection lens group, the object (209) under detection, the detection lens group, the refraction unit, the relay lens group and the photoelectric detector (220) are arranged in sequence along a transmission path of the light beam. The projection lens group comprises a projection slit (203) that has multiple marks not in the same line, so that the light beam emitted by the illumination light source (201) passes through the illumination lens group (202), the projection lens group, the object (209) under detection and the detection lens group in sequence and then generates multiple sub-beams not in the same line and corresponding to the multiple marks. The refraction unit is configured in such a manner that the multiple sub-beams pass through the refraction unit to generate multiple light spots in the same line.
(FR)L'invention concerne un dispositif de nivellement de focalisation qui comprend : une source de lumière d'éclairage (201) destinée à émettre un faisceau de lumière, un groupe de lentilles d'éclairage (202), un groupe de lentilles de projection, un objet (209) faisant l'objet de la détection, un groupe de lentilles de détection, une unité de réfraction, un groupe de lentilles de relais et un détecteur photoélectrique (220), le groupe de lentilles d'éclairage (202), le groupe de lentilles de projection, l'objet (209) faisant l'objet de la détection, le groupe de lentilles de détection, l'unité de réfraction, le groupe de lentilles de relais et le détecteur photoélectrique (220) étant agencés en séquence le long d'un trajet de transmission du faisceau de lumière. Le groupe de lentilles de projection comprend une fente de projection (203) qui comporte de multiples marques qui ne sont pas sur la même ligne, de telle sorte que le faisceau de lumière émis par la source de lumière d'éclairage (201) passe en séquence à travers le groupe de lentilles d'éclairage (202), le groupe de lentilles de projection, l'objet (209) faisant l'objet de la détection et le groupe de lentilles de détection et, ensuite, génère de multiples sous-faisceaux qui ne sont pas sur la même ligne et qui correspondent aux multiples marques. L'unité de réfraction est configurée de telle manière que les multiples sous-faisceaux passent à travers l'unité de réfraction pour générer de multiples points lumineux sur la même ligne.
(ZH)一种调焦调平装置,包括:用于发出一光束的照明光源(201),以及沿光束的一传输路径依次排列的照明镜组(202)、投影镜组、被测物体(209)、探测镜组、折光单元、中继镜组和光电探测器(220);投影镜组包括一投影狭缝(203),投影狭缝(203)上具有多个不处于同一直线的标记,使得照明光源(201)发出的光束依次经过照明镜组(202)、投影镜组、被测物体(209)、探测镜组后生成与多个标记对应的多个不处于同一直线的子光束,折光单元被配置为使得多个子光束经折光单元后生成处于同一直线上的多个光斑。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)