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1. (WO2015099711) SURVEILLANCE IN SITU DE LA FABRICATION D'ÉLÉMENTS DE CALCUL INTÉGRÉS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/099711    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/077690
Date de publication : 02.07.2015 Date de dépôt international : 24.12.2013
CIB :
G01N 21/17 (2006.01), G01N 21/41 (2006.01), G01B 11/06 (2006.01)
Déposants : HALLIBURTON ENERGY SERVICES, INC. [US/US]; 10200 Bellaire Blvd. Houston, Texas 77072 (US)
Inventeurs : PERKINS, David L.; (US).
FREESE, Robert Paul; (US).
JONES, Christopher Michael; (US).
GARDNER, Richard Neal; (US)
Mandataire : VACAR, Dan; Fish & Richardson P.C. P.O. Box 1022 Minneapolis, Minnesota 55440-1022 (US)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) IN-SITU MONITORING OF FABRICATION OF INTEGRATED COMPUTATIONAL ELEMENTS
(FR) SURVEILLANCE IN SITU DE LA FABRICATION D'ÉLÉMENTS DE CALCUL INTÉGRÉS
Abrégé : front page image
(EN)Techniques include receiving a design of an integrated computational element (ICE), the ICE design including specification of a substrate and a plurality of layers, their respective target thicknesses and complex refractive indices, complex refractive indices of adjacent layers being different from each other, and a notional ICE fabricated in accordance with the ICE design being related to a characteristic of a sample; forming at least some of the plurality of layers of the ICE in accordance with the ICE design; performing at least two different types of in-situ measurements; predicting, using results of the at least two different types of in situ measurements, performance of the ICE relative to the ICE design; and adjusting the forming of the layers remaining to be formed, at least in part, by updating the ICE design based on the predicted performance.
(FR)L'invention concerne des techniques incluant la réception d'une conception d'un élément de calcul intégré (ICE), la conception d'ICE incluant la spécification d'un substrat et d'une pluralité de couches, leurs épaisseurs et indices de réfraction complexes respectifs cibles, les indices de réfraction complexes de couches adjacentes étant différents les uns des autres et un ICE notionnel fabriqué en conformité avec la conception d'ICE étant associé à une caractéristique d'un échantillon; la formation d'au moins certaines couches de la pluralité de couches de l'ICE en conformité avec la conception d'ICE; la réalisation d'au moins deux différents types de mesures in situ; la prédiction, à l'aide des résultats des au moins deux différents types de mesures in situ, de la performance de l'ICE par rapport à la conception d'ICE; et le réglage de la formation des couches restant à former, au moins en partie, par l'actualisation de la conception d'ICE sur la base de la performance prédite.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)