WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2015097985) PROCÉDÉ DE COUPE DE PIÈCE ET OUTIL PORTE-PIÈCE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/097985    N° de la demande internationale :    PCT/JP2014/005931
Date de publication : 02.07.2015 Date de dépôt international : 27.11.2014
CIB :
H01L 21/304 (2006.01), B24B 27/06 (2006.01), B28D 5/04 (2006.01)
Déposants : SHIN-ETSU HANDOTAI CO.,LTD. [JP/JP]; 2-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP)
Inventeurs : UCHIYAMA, Atsuo; (JP).
TAKANO, Hisakazu; (JP).
SAITOH, Masahito; (JP).
KOUZU, Hirotoshi; (JP)
Mandataire : YOSHIMIYA, Mikio; (JP)
Données relatives à la priorité :
2013-265726 24.12.2013 JP
Titre (EN) WORKPIECE CUTTING METHOD AND WORKPIECE HOLDING TOOL
(FR) PROCÉDÉ DE COUPE DE PIÈCE ET OUTIL PORTE-PIÈCE
(JA) ワークの切断方法及びワーク保持治具
Abrégé : front page image
(EN)The present invention is a workpiece cutting method comprising measuring a crystal axis orientation by holding a workpiece with a workpiece holding tool (1), followed by setting on a wire saw the workpiece holding tool still holding the workpiece so as not to disturb the measured crystal axis orientation, then, adjusting the cutting plane orientation, and cutting by pressing against a wire saw the workpiece. The workpiece cutting method has the characteristics of using the workpiece holding tool constituted from a sliding part (2) capable of sliding while holding the workpiece, and an immobilization part (3) for immobilizing the sliding part, measuring the crystallographic axis orientation, followed by sliding and moving the sliding part to the center portion of the workpiece holding tool without disturbing the crystallographic axis orientation, immobilizing the sliding part with the immobilization part, setting the holding tool on the wire saw, then, adjusting the cutting plane orientation and performing the cut. This allows the orientation measurement to be carried out regardless of constraints on the distance between an orientation measurement machine and the measurement face on the workpiece, moreover, provides the workpiece cutting method and the workpiece holding tool whereby deterioration of warping and damages on the workpiece are suppressed.
(FR)La présente invention concerne un procédé de coupe de pièce consistant à mesurer une orientation de l'axe du cristal en maintenant une pièce à l'aide d'un outil porte-pièce (1), puis à mettre en place sur un fil hélicoïdal l'outil porte-pièce maintenant encore la pièce afin de ne pas modifier l'orientation de l'axe du cristal mesurée, et ensuite, à ajuster l'orientation du plan de coupe, et à couper par pression de la pièce contre un fil hélicoïdal. Le procédé de coupe de pièce présente les caractéristiques d'utiliser l'outil porte-pièce composé d'une partie de coulissement (2) pouvant coulisser tout en maintenant la pièce, et d'une partie d'immobilisation (3) destinée à immobiliser la partie de coulissement, de mesurer l'orientation de l'axe du cristal, puis de faire coulisser et déplacer la partie de coulissement vers la partie centrale de l'outil porte-pièce sans modifier l'orientation de l'axe du cristal, d'immobiliser la partie de coulissement à l'aide de la partie d'immobilisation, de mettre en place l'outil porte-pièce sur le fil hélicoïdal, et ensuite, d'ajuster l'orientation du plan de coupe et de réaliser la coupe. Cela permet d'effectuer la mesure de l'orientation indépendamment des contraintes de distance entre une machine de mesure de l'orientation et la face de mesure sur la pièce, de plus, cela fournit le procédé de coupe de pièce et l'outil porte-pièce permettant d'éviter la détérioration due au gauchissement et de supprimer les dommages sur la pièce.
(JA)本発明は、ワークをワーク保持治具(1)で保持して結晶軸方位を測定した後、ワーク保持治具でワークを測定した結晶軸方位を崩さないように保持したままワイヤソーにセットしてから切断面方位を調整し、ワークをワイヤ列に押し当てることで切断するワークの切断方法であって、ワーク保持治具はワークを保持したままスライドできるスライド部(2)と該スライド部を固定する固定部(3)とから成るものを用い、結晶軸方位を測定した後、スライド部をスライドさせて、結晶軸方位を崩さないようにワーク保持治具の中央部に移動させ、スライド部を固定部により固定し、保持治具をワイヤソーにセットしてから切断面方位を調整し切断することを特徴とするワークの切断方法である。これにより、方位測定器とワークの測定面の距離の制約に関わらず方位測定をすることができる上に、ソリの悪化とワークの破損を抑制するワークの切断方法及びワーク保持治具が提供される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)