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1. (WO2015097820) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE CIBLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/097820    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/084933
Date de publication : 02.07.2015 Date de dépôt international : 26.12.2013
CIB :
H05G 2/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400 Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
Inventeurs : IWAMOTO, Fumio; (JP).
SAITO, Takashi; (JP).
HORI, Tsukasa; (JP).
WAKABAYASHI, Osamu; (JP)
Mandataire : TOU-OU PATENT FIRM; Urban Toranomon Bldg., 16-4, Toranomon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) TARGET GENERATING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE CIBLE
(JA) ターゲット生成装置
Abrégé : front page image
(EN)In one aspect of the present disclosure, a target generating device may cover the periphery of an output port of a nozzle and may include a gas lock cover that guides a gas that is supplied from a gas supply part. The gas lock cover may include a cylindrical part and a flow channel. The cylindrical part may be arranged on the downstream side of the nozzle, may allow droplets that are output from the nozzle to pass through the inside thereof, and may have an output port from which are output the droplets that pass through the inside thereof. Gas that is supplied from the gas supply part may pass through the flow channel. The flow channel may demarcate the flow of the gas that passes therethrough such that the gas flows from the inside of the cylindrical part to the output port of the cylindrical part.
(FR)L'invention concerne, selon un aspect, un dispositif de génération de cible qui peut recouvrir la périphérie d'un orifice de sortie d'une buse et qui peut comporter un couvercle de bouchon de gaz qui guide un gaz alimenté depuis une partie d'alimentation en gaz. Le couvercle de bouchon de gaz peut comporter une partie cylindrique et un canal d'écoulement. La partie cylindrique peut être agencée sur le coté aval de la buse et peut permettre à des gouttelettes qui sortent de la buse de circuler à l'intérieur de ladite partie cylindrique, et peut avoir un orifice de sortie à partir duquel sortent les gouttelettes qui circulent à l'intérieur de ladite partie cylindrique. Le gaz alimenté depuis la partie d'alimentation en gaz peut circuler dans le canal d'écoulement. Le canal d'écoulement peut délimiter l'écoulement du gaz qui circule en son sein de sorte que le gaz s'écoule depuis l'intérieur de la partie cylindrique vers l'orifice de sortie de la partie cylindrique.
(JA) 本開示の1つの観点では、ターゲット生成装置は、ノズルの出力口の周囲を覆い、ガス供給部から供給されたガスを導くガスロックカバーを含んでよい。ガスロックカバーは、筒状部と流路とを含んでよい。筒状部は、ノズルの下流側に配置され、ノズルから出力されたドロップレットが内部を通過し、内部を通過したドロップレットが出力される出力口を有してよい。ガス供給部から供給されたガスは流路を通過してよい。流路は、通過したガスが筒状部の内部から筒状部の出力口に流れるように通過するガスの流れを画定してよい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)