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1. (WO2015097790) LASER EXCIMERE ET SYSTEME LASER EXCIMERE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/097790    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/084703
Date de publication : 02.07.2015 Date de dépôt international : 25.12.2013
CIB :
H01S 3/134 (2006.01), H01S 3/225 (2006.01), H01S 3/036 (2006.01)
Déposants : GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400, Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
Inventeurs : ASAYAMA Takeshi; (JP).
WAKABAYASHI Osamu; (JP)
Mandataire : UTSUNOMIYA Masaaki; PATENT ATTORNEYS SHINPO, 8th Floor, UK Building, 1-32-14, Takadanobaba, Shinjuku-ku, Tokyo 1690075 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) EXCIMER LASER AND EXCIMER LASER SYSTEM
(FR) LASER EXCIMERE ET SYSTEME LASER EXCIMERE
(JA) エキシマレーザ装置及びエキシマレーザシステム
Abrégé : front page image
(EN)This excimer laser may be provided with a laser chamber in which a gas is sealed, a pair of electrodes which are arranged inside of the laser chamber, a power source which supplies a voltage pulse across the electrodes, a gas supply unit which supplies gas to the inside of the laser chamber, a gas discharge unit which partially discharges the gas inside of the laser chamber, and a gas control unit which, on the basis of a deterioration parameter of the electrodes, controls the gas supply unit and the gas discharge unit to exchange part of the gas inside of the laser chamber. On the basis of the deterioration parameter of the electrodes, the gas control unit may determine the amount of the gas inside of the laser chamber to exchange.
(FR)Ce laser excimère peut être pourvu d’une chambre dans laquelle est hermétiquement enfermé un gaz, d’une paire d’électrodes qui sont disposées à l’intérieur de la chambre laser, d’une source d’alimentation qui envoie une impulsion de tension dans les électrodes, d’une unité d’alimentation en gaz qui envoie le gaz à l’intérieur de la chambre laser, d’une unité de déversement de gaz qui déverse partiellement le gaz à l’intérieur de la chambre laser et d’une unité de contrôle du gaz qui, sur la base d’un paramètre de détérioration des électrodes, contrôle l’unité d’alimentation en gaz et l’unité de déversement du gaz afin d’échanger une partie du gaz à l’intérieur de la chambre laser. Sur la base du paramètre de détérioration des électrodes, l’unité de contrôle du gaz peut déterminer la quantité de gaz à l’intérieur de la chambre laser afin de procéder à l’échange.
(JA)このエキシマレーザ装置は、ガスを封入するレーザチャンバと、レーザチャンバの内部に配置された一対の電極と、電極間にパルス電圧を供給する電源部と、レーザチャンバの内部へのガスの供給を行うガス供給部と、レーザチャンバの内部のガスの部分的な排気を行うガス排気部と、電極の劣化パラメータに基づいて、レーザチャンバの内部のガスの一部を交換するようにガス供給部及びガス排気部を制御するガス制御部と、を備えてもよい。ガス制御部は、電極の劣化パラメータに基づいて、レーザチャンバの内部のガスの一部を交換する量を判定してもよい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)