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1. (WO2015096795) DISPOSITIF DE PROTECTION DE BORD DE PLAQUETTE DE SILICIUM DOTÉ D'UNE FONCTION DE PROTECTION CONTRE LES COLLISIONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/096795    N° de la demande internationale :    PCT/CN2014/095044
Date de publication : 02.07.2015 Date de dépôt international : 26.12.2014
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01)
Déposants : SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT CO.,LTD. [CN/CN]; 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203 (CN)
Inventeurs : HUANG, Jingli; (CN).
ZHU, Yuebin; (CN)
Mandataire : SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335 (CN)
Données relatives à la priorité :
201310734687.7  27.12.2013 CN
Titre (EN) SILICON WAFER EDGE PROTECTION DEVICE WITH COLLISION PROTECTION FUNCTION
(FR) DISPOSITIF DE PROTECTION DE BORD DE PLAQUETTE DE SILICIUM DOTÉ D'UNE FONCTION DE PROTECTION CONTRE LES COLLISIONS
(ZH) 一种具有碰撞保护功能的硅片边缘保护装置
Abrégé : front page image
(EN)A silicon wafer edge protection device, comprising an electrical control module with a servo motor (1), a vertical motion mechanism (3) and a protection mechanism (2). The protection mechanism (2) comprises: a coupling (202) fixedly connected to one motor shaft of the servo motor (1) and provided with a plurality of first connection components; and a drive sleeve (203) fixedly connected to the vertical motion mechanism (3) and provided with a plurality of second connection components. The plurality of first and second connection components can be connected in a movable manner so that when a torque output by the motor shaft of the servo motor (1) does not exceed a limit value, the plurality of first and second connection components are engaged; and when the torque output by the motor shaft of the servo motor (1) exceeds the limit value, the plurality of first connection components are disconnected from the plurality of second connection components, thereby preventing the rotation motion of the servo motor (1) from being transferred to the vertical motion mechanism (3).
(FR)L'invention concerne un dispositif de protection de bord de plaquette de silicium comportant un module de commande électrique muni d'un servomoteur (1), un mécanisme de mouvement vertical (3) et un mécanisme de protection (2). Le mécanisme de protection (2) comporte : un accouplement (202) connecté à demeure à un arbre moteur du servomoteur (1) et doté d'une pluralité de premiers éléments de connexion ; et un manchon d'entraînement (203) connecté à demeure au mécanisme de mouvement vertical (3) et doté d'une pluralité de seconds éléments de connexion. La pluralité de premiers et seconds éléments de connexion peuvent être connectés mobiles de sorte que lorsqu'un couple délivré par l'arbre moteur du servomoteur (1) ne dépasse pas une valeur limite, la pluralité de premiers et seconds éléments de connexion sont solidaires ; et lorsque le couple délivré par l'arbre moteur du servomoteur (1) dépasse la valeur limite, la pluralité de premiers éléments de connexion sont déconnectés de la pluralité de seconds éléments de connexion, ce qui empêche ainsi le mouvement de rotation du servomoteur d'être transmis au mécanisme de mouvement vertical (3).
(ZH)一种硅片边缘保护装置,包括具有一伺服电机(1)的电气控制模块、垂向运动机构(3)以及一保护机构(2)。保护机构(2)包括:一联轴器(202),固定连接于伺服电机(1)的一电机轴且具有多个第一连接部件;一传动套(203),固定连接于垂向运动机构(3)且具有多个第二连接部件。多个第一和第二连接部件之间以可活动方式相连,使得:当伺服电机(1)的电机轴输出的扭矩未超过一限定值时,多个第一和第二连接部件相啮合;当伺服电机(1)的电机轴输出的扭矩超过限定值时,多个第一连接部件与多个第二连接部件断开连接,从而防止伺服电机(1)的旋转运动被传递至垂向运动机构(3)。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)