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1. (WO2015096587) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT DE CASSETTE ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/096587    N° de la demande internationale :    PCT/CN2014/092378
Date de publication : 02.07.2015 Date de dépôt international : 27.11.2014
CIB :
H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : BEIJING NMC CO., LTD. [CN/CN]; NO.8 Wenchang Avenue Beijing Economic-Technological Development Area, Beijing 100176 (CN)
Inventeurs : LI, Meng; (CN).
ZHANG, Fenggang; (CN).
DING, Peijun; (CN).
ZHAO, Mengxin; (CN).
LIU, Feifei; (CN).
ZHANG, Wen; (CN)
Mandataire : TEE&HOWE INTELLECTUAL PROPERTY ATTORNEYS; Tianshu ZHANG 10th Floor, Tower D, Minsheng Financial Center, 28 Jianguomennei Avenue, Dongcheng District Beijing 100005 (CN)
Données relatives à la priorité :
201310737644.4 27.12.2013 CN
Titre (EN) CASSETTE POSITIONING DEVICE AND SEMICONDUCTOR PROCESSING APPARATUS
(FR) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT DE CASSETTE ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEUR
(ZH) 片盒定位装置以及半导体加工设备
Abrégé : front page image
(EN)Provided are a cassette positioning device and a semiconductor processing apparatus. The cassette positioning device comprises a positioning base plate (21), a rotary positioning plate (22) and a supporting post (23). The positioning base plate (21) is arranged horizontally and connected to a lifting device (31). The rotary positioning plate (22) is arranged on the positioning base plate (21) and has one end rotatably connected to one end of the positioning base plate (21). A positioning component is arranged on the rotary positioning plate (22). The supporting post (23) is arranged below the rotary positioning plate (22), and can move relative to the positioning base plate (21) in the vertical direction, so that when the supporting post (23) rises to a preset highest position relative to the positioning base plate (21), the rotary positioning plate (22) is pushed against by the supporting post (23) and rotated to a position inclined with respect to the positioning base plate (21); when the supporting post (23) is located at a preset lowest position, the rotary positioning plate (22) is stacked on and parallel to the positioning base plate (21). By means of the cassette positioning device and the semiconductor processing apparatus, all wafers in a cassette (33) can have identical positions in the horizontal direction, so that wafers fetched by a mechanical arm are all located at a unique designated position on the mechanical arm.
(FR)L’invention porte sur un dispositif de positionnement de cassette et sur un appareil de traitement de semi-conducteur. Le dispositif de positionnement de cassette comprend une plaque de base de positionnement (21), une plaque de positionnement rotative (22) et un poteau de support (23). La plaque de base de positionnement (21) est agencée horizontalement et connectée à un dispositif d’élévation (31). La plaque de positionnement rotative (22) est agencée sur la plaque de base de positionnement (21) et possède une extrémité connectée de manière rotative à une extrémité de la plaque de base de positionnement (21). Un composant de positionnement est agencé sur la plaque de positionnement rotative (22). Le poteau de support (23) est agencé sous la plaque de positionnement rotative (22), et peut se déplacer par rapport à la plaque de base de positionnement (21) dans la direction verticale, de telle sorte que lorsque le poteau de support (23) s’élève à un emplacement le plus haut préréglé par rapport à la plaque de base de positionnement (21), la plaque de positionnement rotative (22) est poussée contre par le poteau de support (23) et tournée vers un emplacement incliné par rapport à la plaque de base de positionnement (21) ; lorsque le poteau de support (23) est situé au niveau d’un emplacement le plus bas préréglé, la plaque de positionnement rotative (22) est empilée sur et parallèle à la plaque de base de positionnement (21). Au moyen du dispositif de positionnement de cassette et de l’appareil de traitement de semi-conducteur, toutes les tranches de semi-conducteur dans une cassette (33) peuvent avoir des emplacements identiques dans la direction horizontale, de telle sorte que des tranches de semi-conducteur prélevées par un bras mécanique sont toutes situées au niveau d’un emplacement désigné unique sur le bras mécanique.
(ZH)提供一种片盒定位装置及半导体加工设备。该片盒定位装置包括定位底板(21)、旋转定位板(22)和支撑柱(23)。定位底板(21)水平设置且与升降装置(31)连接;旋转定位板22设置于定位底板(21)上,且其一端与定位底板(21)的一端可旋转的连接;旋转定位板(22)上设置有定位组件;支撑柱23设置在旋转定位板(22)的下方,且支撑柱(23)和定位底板(21)能在竖直方向上作相对运动,以在支撑柱(23)相对于定位底板(21)上升至预设的最高位置时,旋转定位板(22)由支撑柱(23)顶起并旋转至相对于定位底板(21)倾斜的位置;在支撑柱(23)位于预设的最低位置时,旋转定位板(22)与定位为底板(21)相平行地叠置于其上。片盒定位装置及半导体加工设备,可以使片盒(33)内的所有晶片在水平方向上的位置一致,以使由机械手取出的各个晶片均位于该机械手上唯一的指定位置。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)