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1. WO2015091454 - SYSTÈME D'ALIMENTATION EN ÉNERGIE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'ÉNERGIE

Numéro de publication WO/2015/091454
Date de publication 25.06.2015
N° de la demande internationale PCT/EP2014/077919
Date du dépôt international 16.12.2014
CIB
H01J 37/32 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
32Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
CPC
G06F 1/263
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
1Details not covered by groups G06F3/00G06F13/00 and G06F21/00
26Power supply means, e.g. regulation thereof
263Arrangements for using multiple switchable power supplies, e.g. battery and AC
G06F 1/324
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
1Details not covered by groups G06F3/00G06F13/00 and G06F21/00
26Power supply means, e.g. regulation thereof
32Means for saving power
3203Power management, i.e. event-based initiation of power-saving mode
3234Power saving characterised by the action undertaken
324by lowering clock frequency
G06F 1/3296
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
1Details not covered by groups G06F3/00G06F13/00 and G06F21/00
26Power supply means, e.g. regulation thereof
32Means for saving power
3203Power management, i.e. event-based initiation of power-saving mode
3234Power saving characterised by the action undertaken
3296by lowering the supply or operating voltage
H01J 37/32174
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32082Radio frequency generated discharge
32174Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
H01J 37/32944
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32917Plasma diagnostics
32935Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
32944Arc detection
H05H 2001/4682
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE
1Generating plasma; Handling plasma
24Generating plasma
46using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
4645Radiofrequency discharges
4682Associated power generators, e. G. Circuits, matching networks
Déposants
  • TRUMPF HÜTTINGER GMBH + CO. KG [DE]/[DE]
Inventeurs
  • GREDE, André
  • KRAUSSE, Daniel
  • LABANC, Anton
  • THOME, Christian
  • PENA VIDAL, Alberto
Mandataires
  • NITSCHKE, Moritz
Données relatives à la priorité
10 2013 226 511.518.12.2013DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) LEISTUNGSVERSORGUNGSSYSTEM UND VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINER LEISTUNG
(EN) POWER SUPPLY SYSTEM AND METHOD FOR GENERATING POWER
(FR) SYSTÈME D'ALIMENTATION EN ÉNERGIE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'ÉNERGIE
Abrégé
(DE)
Bei einem erfindungsgemäßen Leistungsversorgungssystem (20) werden eine Amplitudenregelung eines Hochfrequenzsignals und eine Spannungsregelung der Versorgungsspannung eines Verstärkers (38, 39), der das Hochfrequenzsignal verstärkt, kombiniert, um auch mit Lastsprüngen umgehen zu können.
(EN)
The invention relates to a power supply system (20). In order to be able to handle load jumps, an amplitude control of a high-frequency signal is combined with a voltage control of the supply voltage of an amplifier (38, 39) which amplifies the high-frequency signal.
(FR)
Système d'alimentation en énergie (20), dans lequel une régulation de l'amplitude d'un signal haute fréquence et une régulation de la tension d'alimentation d'un amplificateur (38, 39), qui amplifie le signal haute fréquence, peuvent être combinées pour permettre d'éviter des sauts de charge.
Également publié en tant que
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