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1. (WO2014176565) TRAVERSÉE ÉLECTRIQUE EN CÉRAMIQUE MULTI-COUCHE PERMETTANT DE PASSER DU VIDE À LA PRESSION ATMOSPHÉRIQUE

Pub. No.:    WO/2014/176565    International Application No.:    PCT/US2014/035567
Publication Date: 30 oct. 2014 International Filing Date: 25 avr. 2014
IPC: C23C 16/00
H01L 21/67
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: HAYNES, Robert
NASSER-GHODSI, Mehran
Title: TRAVERSÉE ÉLECTRIQUE EN CÉRAMIQUE MULTI-COUCHE PERMETTANT DE PASSER DU VIDE À LA PRESSION ATMOSPHÉRIQUE
Abstract:
Des modes de réalisation de l'invention utilisent un substrat céramique multicouche comportant un ou plusieurs trous métalliques remplis et hermétiquement scellés présentant un pas et une taille de faible dimension, combiné à des éléments intercalés et à des câbles flexibles de circuit imprimé, pour obtenir une traversée électrique permettant de passer d'une chambre à vide à une chambre à pression atmosphérique. Le présent abrégé est produit afin de respecter les règles requérant un abrégé qui permettra à une personne effectuant une recherche ou à autre lecteur de déterminer rapidement l'objet de la description technique. Cet abrégé est présenté avec l'accord qu'il ne sera pas utilisé pour interpréter ni limiter la portée ou le sens des revendications.