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1. (WO2014175535) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE LITHOGRAPHIE PAR IMPRESSION DU TYPE À TRANSFERT DE SOLUTION UTILISANT UN TIMBRE EN ROULETTE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/175535    N° de la demande internationale :    PCT/KR2013/012297
Date de publication : 30.10.2014 Date de dépôt international : 27.12.2013
CIB :
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS [KR/KR]; 156, Gajeongbuk-ro Yuseong-gu Daejeon 305-343 (KR)
Inventeurs : LEE, Jae-jong; (KR).
LIM, Hyung-jun; (KR).
CHOI, Kee-bong; (KR).
KIM, Gee-hong; (KR)
Mandataire : KIM, Min-tae; 5F Seil Building, 414, Nonhyeon-ro Gangnam-gu Seoul 135-080 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2013-0045213 24.04.2013 KR
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR SOLUTION TRANSFER-TYPE IMPRINT LITHOGRAPHY USING ROLL STAMP
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE LITHOGRAPHIE PAR IMPRESSION DU TYPE À TRANSFERT DE SOLUTION UTILISANT UN TIMBRE EN ROULETTE
(KO) 롤스탬프를 이용한 용액전사방식의 임프린트 리소그래피 장치 및 방법
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to an apparatus and a method for solution transfer-type imprint lithography using a roll stamp and, more particularly, to an apparatus and a method for guaranteeing that, in the process of transferring a resist, which has been applied on a first substrate, to a roll stamp and then retransferring the resist to a second substrate, the surface pattern of the roll stamp is replicated to the resist that has been transferred on the second substrate.
(FR)La présente invention concerne un appareil et un procédé de lithographie par impression du type à transfert de solution utilisant un timbre en roulette, et concerne plus particulièrement un appareil et un procédé qui permettent de garantir que, lors du processus qui consiste à transférer une résine photosensible ayant été appliquée sur un premier substrat, vers un timbre en roulette, puis à transférer à nouveau la résine photosensible sur un second substrat, le motif de surface du timbre en roulette est reproduit sur la résine photosensible qui a été transférée sur le second substrat.
(KO)본 발명은 롤스탬프를 이용한 용액전사방식의 임프린트 리소그래피 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 제1기판 상에 도포된 레지스트를 롤스탬프로 전사한 후, 이를 제2기판으로 재전사하는 과정에서 롤스탬프의 표면 패턴이 제2기판 위에 전사된 레지스트에 복제되도록 하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)