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1. (WO2014174438) PROCÉDÉ ET SYSTÈME PERMETTANT D'AMÉLIORER DES MESURES OPTIQUES SUR DE PETITES CIBLES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/174438    N° de la demande internationale :    PCT/IB2014/060906
Date de publication : 30.10.2014 Date de dépôt international : 22.04.2014
CIB :
G01N 21/00 (2006.01)
Déposants : NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. [IL/IL]; Weizmann Scientific Park P.O.B. 266 7610201 Rehovot (IL)
Inventeurs : GROSSMAN, Danny; (IL).
SELICKTER, Guy; (IL)
Mandataire : REINHOLD COHN AND PARTNERS; P.O.B. 13239 61131 Tel-Aviv (IL)
Données relatives à la priorité :
61/814,283 21.04.2013 US
Titre (EN) METHOD AND SYSTEM FOR IMPROVING OPTICAL MEASUREMENTS ON SMALL TARGETS
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME PERMETTANT D'AMÉLIORER DES MESURES OPTIQUES SUR DE PETITES CIBLES
Abrégé : front page image
(EN)A control system and method are provided for use in managing optical measurements on target structures. The control system comprises: data input utility for receiving input data indicative of a size of a target structure to be measured and input data indicative of illumination and collection channels of an optical measurement system; data processing utility for analyzing the input data, and an interplay of Point Spread Functions (PSFs) of the illumination and collection channels, and determining data indicative of optimal tailoring of apertures to be used in the optical measurement system for optimizing ensquared energy for measurements on the given target structure, the optimal tailoring comprising at least one of the following: an optimal ratio between numerical apertures of the illumination and collection channels; and an optimal orientation offset of physical apertures in the illumination and collection channels.
(FR)L'invention concerne un système de commande et un procédé devant être utilisés dans la gestion de mesures optiques sur des structures cibles. Le système de commande comprend : un utilitaire d'entrée de données permettant de recevoir des données d'entrée indiquant une taille d'une structure cible devant être mesurée et des données d'entrée indiquant des canaux d'éclairage et de collecte d'un système de mesure optique ; un utilitaire de traitement de données permettant d'analyser les données d'entrée, et une interaction de fonctions d'étalement ponctuel (PSF) des canaux d'éclairage et de collecte, et de déterminer des données indiquant une personnalisation optimale d'ouvertures devant être utilisées dans le système de mesure optique pour optimiser une énergie récupérée destinée à des mesures sur la structure cible donnée, la personnalisation optimale comprenant au moins un des éléments suivants : un rapport optimal entre des ouvertures numériques des canaux d'éclairage et de collecte ; et un décalage d'orientation optimale d'ouvertures physiques dans les canaux d'éclairage et de collecte.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)