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1. (WO2014172929) DISPOSITIF DE CHAUFFAGE AUXILIAIRE POUR FOUR À ZONE FLOTTANTE ET PROCÉDÉ DE CONSERVATION DE CHALEUR POUR BARREAU MONOCRISTALLIN DUDIT FOUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/172929    N° de la demande internationale :    PCT/CN2013/075717
Date de publication : 30.10.2014 Date de dépôt international : 16.05.2013
CIB :
C30B 13/20 (2006.01), C30B 29/06 (2006.01)
Déposants : ZHEJIANG JINGSHENG M & E CO., LTD [CN/CN]; No.218 West Tongjiang Road, Economic Development Zone Shangyu, Zhejiang 312300 (CN)
Inventeurs : FU, Linjian; (CN).
OUYANG, Penggen; (CN).
WANG, Dantao; (CN).
CHEN, Mingjie; (CN).
SHI, Gang; (CN).
CAO, Jianwei; (CN).
QIU, Minxiu; (CN).
JIANG, Qingliang; (CN)
Mandataire : SHANGHAI HUAQI INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; Room 1024, Hanzhong Mansion No.158 Hanzhong Road, Zhabei District Shanghai 200070 (CN)
Données relatives à la priorité :
201310149186.2 25.04.2013 CN
Titre (EN) AUXILIARY HEATING DEVICE FOR FLOAT ZONE FURNACE AND HEAT PRESERVATION METHOD FOR SINGLE CRYSTAL ROD THEREOF
(FR) DISPOSITIF DE CHAUFFAGE AUXILIAIRE POUR FOUR À ZONE FLOTTANTE ET PROCÉDÉ DE CONSERVATION DE CHALEUR POUR BARREAU MONOCRISTALLIN DUDIT FOUR
(ZH) 一种用于区熔炉的辅助加热装置及其单晶棒保温方法
Abrégé : front page image
(EN)An auxiliary heating device for float zone furnace and a heat preservation method for a single crystal rod thereof. The device comprises an auxiliary heater disposed below high frequency heating coils within a float zone furnace, formed by winding a hollow metal circular tube, wherein the winding start of the auxiliary heater is at the upper part and the winding end is at the bottom part; from the two ends respectively, an upper end part and a bottom end part are led out; the inner side of the auxiliary heater is provided with a heating load in a hollow tube shape, and an insulator is provided between the heating load and the auxiliary heater. The device and method can solve the problem of cracking in a single crystal rod during the growth of a float zone silicon single crystal of 6.5 inches or more due to an inappropriate thermal field distribution and an excessive thermal stress.
(FR)L'invention concerne un dispositif de chauffage auxiliaire pour four à zone flottante et un procédé de conservation de chaleur pour barreau monocristallin dudit four. Le dispositif comprend un appareil de chauffage auxiliaire disposé sous les serpentins de chauffage haute fréquence situés à l'intérieur d'un four à zone flottante, formé par enroulement d'un tube circulaire métallique creux, le début de l'enroulement de l'appareil de chauffage auxiliaire se situant au niveau de la partie supérieure et la fin de l'enroulement se situant au niveau de la partie inférieure; de chacune des extrémités sortent respectivement une partie d'extrémité supérieure et une partie d'extrémité inférieure; la face interne de l'appareil de chauffage auxiliaire est dotée d'une charge chauffante sous la forme d'un tube creux, et un isolant est disposé entre la charge chauffante et l'appareil de chauffage auxiliaire. Le dispositif et le procédé permettent de résoudre le problème de fissuration d'un barreau monocristallin pendant la croissance d'un monocristal de silicium en zone flottante mesurant 6,5 pouces ou plus du fait d'une distribution de champ thermique inadaptée et de contraintes thermiques excessives.
(ZH)一种用于区熔炉的辅助加热装置及其单晶棒保温方法。该装置包括置于区熔炉内高频加热线圈下方的辅助加热器,由中空的金属圆管绕制而成,辅助加热器的启绕端在上部,止绕端在下部,且自该两端分别水平引出上端部与下端部;辅助加热器的内侧设有呈中空筒状的加热负载,加热负载与辅助加热器之间设有绝缘件。该装置和方法可解决6.5英寸以上的区熔硅单晶生长中面临的因热场分布不合理、热应力过大造成的单晶棒开裂的问题。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)