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1. (WO2014172722) SOURCE DE REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION PAR ARC MUNIE D'UN AIMANT PERMANENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/172722    N° de la demande internationale :    PCT/AT2014/000078
Date de publication : 30.10.2014 Date de dépôt international : 17.04.2014
CIB :
H01J 37/32 (2006.01), C23C 14/32 (2006.01)
Déposants : PLANSEE SE [AT/AT]; A-6600 Reutte (AT)
Inventeurs : PERL, Matthias; (AT).
POLCIK, Peter; (AT).
POLZER, Conrad; (DE).
SCHLICHTHERLE, Stefan; (AT).
STRAUSS, Georg; (AT)
Données relatives à la priorité :
GM 131/2013 22.04.2013 AT
Titre (DE) LICHTBOGENVERDAMPFUNGS-BESCHICHTUNGSQUELLE MIT PERMANENTMAGNET
(EN) ARC EVAPORATION COATING SOURCE HAVING A PERMANENT MAGNET
(FR) SOURCE DE REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION PAR ARC MUNIE D'UN AIMANT PERMANENT
Abrégé : front page image
(DE)Es wird eine Lichtbogenverdampfungs-Beschichtungsquelle (1) bereitgestellt, mit: einem Target (2) aus einem zu verdampfenden Beschichtungsmaterial, einem ferromagnetischen Joch (3) zum Beeinflussen der Verdampfung des zu verdampfenden Beschichtungsmaterials und zumindest einem permanentmagnetischen Körper (4) zum Beeinflussen der Verdampfung des zu verdampfenden Beschichtungsmaterials. Das ferromagnetische Joch (3) ist in Kontakt mit dem Target (2) angeordnet. Der permanentmagnetische Körper (4) ist über das ferromagnetische Joch (3) an dem Target (2) befestigt.
(EN)The invention relates to an arc evaporation coating source (1), comprising: a target (2) made of a coating material to be evaporated, a ferromagnetic yoke (3) for influencing the evaporation of the coating material to be evaporated and at least one permanently magnetic body (4) for influencing the evaporation of the coating material to be evaporated. The ferromagnetic yoke (3) is arranged in contact with the target (2). The permanently magnetic body (4) is fastened to the target (2) by means of the ferromagnetic yoke (3).
(FR)L'invention concerne une source de revêtement par évaporation par arc (1) comportant : une cible (2) constituée d'un matériau de revêtement à évaporer, une culasse ferromagnétique (3) agissant sur l'évaporation du matériau de revêtement à évaporer et au moins un corps à aimantation permanente (4) agissant sur l'évaporation du matériau de revêtement à évaporer. La culasse ferromagnétique (3) est en contact avec la cible (2). Le corps à aimantation permanente (4) est fixé à la cible (2) par l'intermédiaire de la culasse ferromagnétique (3).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)