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1. (WO2014170099) POMPE À VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/170099    N° de la demande internationale :    PCT/EP2014/055927
Date de publication : 23.10.2014 Date de dépôt international : 25.03.2014
CIB :
F04D 19/04 (2006.01), F04D 29/059 (2006.01)
Déposants : OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH [DE/DE]; Bonner Straße 498 50968 Köln (DE)
Inventeurs : BERGER, Christian; (DE).
ANASTASSIADIS, Ioannis; (DE)
Mandataire : VON KREISLER SELTING WERNER; Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln (DE)
Données relatives à la priorité :
20 2013 003 683.4 19.04.2013 DE
Titre (DE) VAKUUMPUMPE
(EN) VACUUM PUMP
(FR) POMPE À VIDE
Abrégé : front page image
(DE)Eine Vakuumpumpe wie eine Turbomolekularpumpe weist eine Rotorwelle (10) auf, die mindestens ein Rotorelement trägt. Die Rotorwelle (10) ist insbesondere bei schnell drehenden Vakuumpumpen über zwei Lagerelemente (10,14) vorgespannt gelagert. Bspw. beim Schalten von Ventilen können trotz der Vorspannung Axialbewegungen auftreten. Insbesondere bei dem Verwenden eines hochsteifen Magnetlagers als Lagerelement muss sichergestellt sein, dass nur eine sehr geringe axiale Auslenkung der Rotorwelle (10) möglich ist. Hierzu ist ein die Axialbewegung der Rotorwelle (10) begrenzendes Anschlagelement (20) vorgesehen. Um das Auftreten von Abrieb zwischen dem Anschlagelement und der Rotorwelle (10) bzw. einem mit der Rotorwelle (10) verbundenen Anschlagteil (26) zu verringern, weist das Anschlagelement (20) ein drehbares Begrenzungselement (28,48,62) auf.
(EN)A vacuum pump such as a turbo-molecular pump has a rotor shaft (10) which bears at least one rotor element. The rotor shaft (10) is mounted in a prestressed fashion by means of two bearing elements (10, 14), in particular in the case of vacuum pumps rotating at high speeds. For example during the switching of valves it is possible for axial movements to occur despite the prestress. In particular, when a highly rigid magnetic bearing is used as a bearing element, it is necessary to ensure that only a very small axial deflection of the rotor shaft (20) is possible. For this purpose, a stop element (10) which limits the axial movement of the rotor shaft (10) is provided. In order to reduce the occurrence of friction between the stop element and the rotor shaft (10) or a stop part (26) connected to the rotor shaft (10), the stop element (20) has a rotatable limiting element (28, 48, 62).
(FR)L'invention concerne une pompe à vide, par exemple une pompe turbomoléculaire, qui possède un arbre de rotor (10) supportant au moins un élément de rotor. L'arbre de rotor (10) est monté avec précontrainte sur deux éléments de palier (10, 14), notamment sur les pompes à vide à rotation rapide. Des mouvements axiaux peuvent se produire malgré la précontrainte, par exemple lors de la commutation de vannes. Il faut garantir que seule une déviation axiale très faible de l'arbre du rotor (10) soit possible, notamment si l'élément de palier utilisé est un palier magnétique fortement rigide. Un élément de butée (20) permet de limiter le mouvement axial de l'arbre du rotor (10). Pour réduire l'abrasion produite entre l'élément de butée et l'arbre du rotor (10) ou une pièce de butée (26) reliée à l'arbre du rotor (10), l'élément de butée (20) possède un élément limiteur rotatif (28, 48, 62).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)