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1. (WO2014167695) MACHINE DE SÉRIGRAPHIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/167695    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/060979
Date de publication : 16.10.2014 Date de dépôt international : 11.04.2013
CIB :
B41F 15/36 (2006.01), B41F 15/08 (2006.01), B41F 15/40 (2006.01), H01L 31/04 (2014.01)
Déposants : MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION [JP/JP]; 7-3, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008310 (JP)
Inventeurs : YONEYAMA, Hirofumi; (JP)
Mandataire : SAKAI, Hiroaki; Sakai International Patent Office, Toranomon Mitsui Building, 8-1, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SCREEN PRINTING MACHINE
(FR) MACHINE DE SÉRIGRAPHIE
(JA) スクリーン印刷機
Abrégé : front page image
(EN)A screen printing machine for printing a dopant-containing paste (paste) (21), which is coated on the pattern-printing area (P) (printing area (P)) of a printing mask (32), on the printing surface of a p-type silicon substrate disposed below the printing area (P) through an open pattern provided on the printing area (P). The screen printing machine is equipped with dam members (36) on the outside of a scraper (35) sliding area on the upper surface of the printing mask (32). The side surfaces of the dam members on the printing area (P)-side adhere tightly to the upper surface of the printing mask (32) and the dam members turn paste (21), which has been forced out from the scraper (35) sliding area, back toward the scraper (35) sliding area. The dam members (36) have upper surfaces that are inclined surfaces, which become lower from the downstream side to the upstream side of the scraper (35) sliding direction. Paste (21), which has been forced out from the scraper (35) sliding area when the scraper (35) and the squeegee (34) are slid and has moved onto the inclined surfaces, is moved to the upstream side by the slope of the inclined surfaces, after which the paste flows onto the upper surface of the printing mask and is returned to the scraper (35) sliding area.
(FR)L'invention porte sur une machine de sérigraphie qui permet d'imprimer une pâte contenant un matériau dopant (pâte) (21), qui est revêtue sur la surface d'impression à motif (P) (surface d'impression (P)) d'un masque d'impression (32), sur la surface d'impression d'un substrat de silicium de type p disposé au-dessous de la surface d'impression (P) à travers un motif ouvert disposé sur la surface d'impression (P). La machine de sérigraphie est munie d'éléments de barrage (36) sur l'extérieur d'une région de glissement de racleur (35) sur la surface supérieure du masque d'impression (32). Les surfaces latérales des éléments de barrage sur le côté de la surface d'impression (P) adhèrent étroitement à la surface supérieure du masque d'impression (32) et les éléments de barrage renvoient la pâte, qui a été forcée (21) à l'extérieur de la région de glissement du racleur (35), vers la région de glissement de racleur (35). Les éléments de barrage (36) présentent des surfaces supérieures qui sont des surfaces inclinées, qui deviennent plus basses en allant du côté aval au côté amont dans la direction de glissement de racleur (35). La pâte (21), qui a été forcée hors de la surface de glissement du racleur (35), lorsque le racleur (35) et la raclette (34) sont glissés, et qui s'est déplacée sur les surfaces inclinées, est déplacée vers le côté amont par la pente de la surface inclinée, après quoi la pâte s'écoule sur la surface supérieure du masque d'impression, puis est renvoyée vers la région de glissement du racleur (35).
(JA) 印刷マスク32のパターン印刷領域P(印刷領域P)上にコートされたドーパント含有ペースト(ペースト)21を印刷領域Pに設けられた開口パターンを介して印刷領域Pの下部に配置されたp型シリコン基板の被印刷面に印刷するスクリーン印刷機であって、印刷マスク32の上面におけるスクレッパ35の摺動領域よりも外周側に印刷マスク32の上面と印刷領域P側の側面が密着して設けられて、スクレッパ35の摺動領域からはみ出したペースト21をスクレッパ35の摺動領域側に跳ね返す土手部材36とを備え、土手部材36は、スクレッパ35の摺動方向における下流側から上流側に向かって低くなる傾斜面を上面に有し、スクレッパ36およびスキージ35の摺動時にスクレッパ35の摺動領域からはみ出して傾斜面に移動したペースト21が、傾斜面の傾斜により上流側に移動した後に前記印刷マスクの上面に流れて前記スクレッパ35の摺動領域に還流する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)