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1. (WO2014166711) RÉPARTITEUR DE GAZ POUR RÉACTEUR SIEMENS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/166711    N° de la demande internationale :    PCT/EP2014/055472
Date de publication : 16.10.2014 Date de dépôt international : 19.03.2014
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    07.10.2014    
CIB :
C01B 33/035 (2006.01), B01J 4/00 (2006.01)
Déposants : WACKER CHEMIE AG [DE/DE]; Hanns-Seidel-Platz 4 81737 München (DE)
Inventeurs : POPP, Friedrich; (US).
KUTZA, Christian; (DE).
ROECKL, Martin; (DE).
WEISS, Tobias; (DE)
Mandataire : KILLINGER, Andreas; Wacker Chemie AG Hanns-Seidel-Platz 4 81737 München (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2013 206 236.2 09.04.2013 DE
Titre (DE) GASVERTEILER FÜR SIEMENS-REAKTOR
(EN) GAS DISTRIBUTOR FOR A SIEMENS REACTOR
(FR) RÉPARTITEUR DE GAZ POUR RÉACTEUR SIEMENS
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft einen Gasverteiler, in dem Gase transportiert werden können, umfassend wenigstens zwei Segmente, welche mittels leicht lösbarer Befestigungsmittel gasdicht miteinander verbunden sind, wenigstens eine Gaseintrittsöffnung und wenigstens eine Gasaustrittsöffnung, wobei der Gasverteiler mittels leicht lösbarer Befestigungsmittel an einer Bodenplatte eines Reaktors zur Abscheidung von polykristallinem Silicium montierbar ist, wobei die wenigstens eine Gasaustrittsöffnung des Gasverteilers mit einer Gaseintrittsöffnung des Reaktors kommunizierend verbunden ist und/oder wobei die wenigstens eine Gaseintrittsöffnung des Gasverteilers mit einer Gasaustrittsöffnung des Reaktors kommunizierend verbunden ist.
(EN)The invention relates to a gas distributor in which gases can be transported, comprising at least two segments that are interconnected in a gas-tight manner by means of easily detachable securing means, and at least one gas inlet opening and at least one gas outlet opening, said gas distributor being able to be mounted, by means of easily detachable securing means, on a base plate of a reactor for polycrystalline silicon deposition, said at least one gas outlet opening of the gas distributor being connected so as to be in communication with a gas inlet opening of the reactor, and/or the at least one gas inlet opening of the gas distributor being connected so as to be in communication with a gas outlet opening of said reactor.
(FR)L'invention concerne un répartiteur de gaz dans lequel des gaz sont transportés et qui comprend au moins deux segments reliés l'un à l'autre de manière étanche aux gaz à l'aide de moyens de fixation facilement libérables, et au moins un orifice d'entrée de gaz et un orifice de sortie de gaz. Le répartiteur de gaz peut être monté sur une plaque de base d'un réacteur à l'aide de moyens de fixation facilement libérables pour le dépôt de silicium polycristallin. Le ou les orifices de sortie de gaz du répartiteur de gaz communiquent avec un orifice d'entrée de gaz du réacteur et/ou le ou les orifices d'entrée de gaz du répartiteur de gaz communiquent avec un orifice de sortie de gaz du réacteur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)