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1. (WO2014165483) SYSTÈME DE CAPTEUR DE PRESSION À AUTO-ÉTALONNAGE AVEC UN CAPTEUR DE PRESSION ET UN CAPTEUR DE RÉFÉRENCE QUI PARTAGENT UNE CHAMBRE ÉTANCHE COMMUNE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/165483    N° de la demande internationale :    PCT/US2014/032484
Date de publication : 09.10.2014 Date de dépôt international : 01.04.2014
CIB :
G01L 7/08 (2006.01), G01L 27/00 (2006.01), B81B 7/02 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, Massachusetts 01810 (US)
Inventeurs : MINDLIN, Leonid; (US).
BART, Stephen F.; (US).
GU, Lei; (US)
Mandataire : KUSMER, Toby; Mcdermott Will & Emery LLP 28 State Street Boston, Massachusetts 02109 (US)
Données relatives à la priorité :
61/808,443 04.04.2013 US
14/101,177 09.12.2013 US
Titre (EN) SELF-CALIBRATING PRESSURE SENSOR SYSTEM WITH PRESSURE SENSOR AND REFERENCE SENSOR THAT SHARE COMMON SEALED CHAMBER
(FR) SYSTÈME DE CAPTEUR DE PRESSION À AUTO-ÉTALONNAGE AVEC UN CAPTEUR DE PRESSION ET UN CAPTEUR DE RÉFÉRENCE QUI PARTAGENT UNE CHAMBRE ÉTANCHE COMMUNE
Abrégé : front page image
(EN)A self-calibrating pressure sensor system may measure the pressure of a gas or liquid. The system may include a pressure sensor, a reference sensor, and a drift compensation system. The pressure sensor may include a pressure-sensing flexible diaphragm with one side exposed to the gas or liquid and another side forming a wall of a sealed chamber. The reference sensor may include a reference flexible diaphragm that has two sides that are both within or exposed to the same sealed chamber. The drift compensation system may produce information that is indicative of the pressure of the gas or liquid based on the signal from the pressure sensor, and compensate for drift in this signal based on changes in the signal from the reference sensor. The pressure-sensing flexible diaphragm and the reference flexible diaphragm may be made at substantially the same time by depositing or growing a single layer of material in a single continuous step.
(FR)L'invention concerne un système de capteur de pression à auto-étalonnage pouvant mesurer la pression d'un gaz ou d'un liquide. Le système peut comprendre un capteur de pression, un capteur de référence, et un système de compensation de dérive. Le capteur de pression peut comprendre une membrane souple de détection de pression avec un côté exposé au gaz ou au liquide et un autre côté formant une paroi d'une chambre étanche. Le capteur de référence peut comprendre une membrane souple de référence qui possède deux côtés qui sont l'un et l'autre à l'intérieur de, ou exposés à, la même chambre étanche. Le système de compensation de dérive peut produire des informations qui sont caractéristiques de la pression du gaz ou du liquide sur base du signal provenant du capteur de pression, et compenser une dérive de ce signal sur base de changements dans le signal provenant du capteur de référence. La membrane souple de détection de pression et la membrane souple de référence peuvent être fabriquées sensiblement en même temps en déposant ou en faisant se développer une monocouche de matériau dans une étape unique continue.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)