WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2014164910) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE DE REFROIDISSEMENT ET DE CHAUFFAGE MULTIZONE POUR CHAMBRE DE TRAITEMENT AU PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/164910    N° de la demande internationale :    PCT/US2014/023770
Date de publication : 09.10.2014 Date de dépôt international : 11.03.2014
CIB :
H01L 21/3065 (2006.01), H01L 21/324 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : NANGOY, Roy; (US).
LUBOMIRSKY, Dmitry; (US)
Mandataire : BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 1279 Oakmead Parkway Sunnyvale, CA 94085 (US)
Données relatives à la priorité :
61/778,212 12.03.2013 US
Titre (EN) MULTI ZONE HEATING AND COOLING ESC FOR PLASMA PROCESS CHAMBER
(FR) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE DE REFROIDISSEMENT ET DE CHAUFFAGE MULTIZONE POUR CHAMBRE DE TRAITEMENT AU PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)An electrostatic chuck assembly including a dielectric layer with a top surface to support a workpiece. A cooling channel base disposed below the dielectric layer includes a plurality of fluid conduits disposed beneath the top surface. A chuck assembly further includes a plurality of resistive heater rods spatially distribute across the chuck assembly. In embodiments, 169 heater rods and three heat transfer fluid flow controls are independently controlled during execution of a plasma etch process.
(FR)L'invention concerne un ensemble mandrin électrostatique comprenant une couche diélectrique possédant une surface supérieure pour supporter une pièce à usiner. Une base de canal de refroidissement disposée au-dessous de la couche diélectrique comprend une pluralité de conduits de fluide disposés en dessous de la surface supérieure. Un ensemble mandrin comprend en outre une pluralité de tiges de chauffage résistives réparties spatialement dans l'ensemble mandrin. Dans des modes de réalisation, 169 tiges de chauffage et trois commandes d'écoulement de fluide de transfert de chaleur sont commandées de façon indépendante pendant l'exécution d'un processus de gravure par plasma.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)