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1. (WO2014163802) ENSEMBLE FENÊTRE POUR SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/163802    N° de la demande internationale :    PCT/US2014/016874
Date de publication : 09.10.2014 Date de dépôt international : 18.02.2014
CIB :
H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : CARLSON, David K.; (US)
Mandataire : LINARDAKIS, Leonard P.; Moser Taboada 1030 Broad Street Suite 203 Shrewsbury, New Jersey 07702 (US)
Données relatives à la priorité :
61/777,669 12.03.2013 US
Titre (EN) WINDOW ASSEMBLY FOR SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
(FR) ENSEMBLE FENÊTRE POUR SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus for use in an inline substrate processing tool are provided herein. In some embodiments, a window assembly for use in an inline substrate processing tool may include a window body having an inner surface and an outer surface, the window body including a central translucent portion configured to pass radiant heat emitted from a radiant heat lamp through the central translucent portion, and a surface treated portion disposed about the central translucent portion and disposed on each of the inner and outer surfaces, the surface treated portion configured to minimize total internal reflections of the radiant heat emitted from the radiant heat lamp, and one or more molded seals disposed proximate an outer edge of the window body and on each of the inner and outer surfaces of the window body.
(FR)La présente invention concerne un appareil destiné à être utilisé dans un outil de traitement de substrat en ligne. Dans certains modes de réalisation, un ensemble fenêtre destiné à être utilisé dans un outil de traitement de substrat en ligne peut comprendre un corps de fenêtre ayant une surface intérieure et une surface extérieure. Le corps de fenêtre comporte une partie centrale translucide conçue pour laisser passer une chaleur rayonnante émise par une lampe à chaleur rayonnante à travers la partie centrale translucide, ainsi qu'une partie traitée en surface située autour de la partie centrale translucide et située sur chacune des surfaces intérieure et extérieure. La partie traitée en surface est conçue pour réduire à un minimum les réflexions internes totales de la chaleur rayonnante émise par la lampe à chaleur rayonnante. Un ou plusieurs joints moulés sont disposés à proximité d'un bord extérieur du corps de fenêtre et sur chacune des surfaces intérieure et extérieure du corps de fenêtre.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)