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1. (WO2014160437) PARTIE DE SUPPORT DE SUSCEPTEUR ET APPAREIL DE CROISSANCE ÉPITAXIALE COMPRENANT LA PARTIE DE SUPPORT DE SUSCEPTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/160437    N° de la demande internationale :    PCT/US2014/026616
Date de publication : 02.10.2014 Date de dépôt international : 13.03.2014
CIB :
H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/20 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : OKABE, Akira; (JP).
MORI, Yoshinobu; (JP)
Mandataire : PATTERSON, B. Todd; Patterson & Sheridan, LLP 24 Greenway Plaza, Suite 1600 Houston, TX 77046 (US)
Données relatives à la priorité :
2013-066897 27.03.2013 JP
13/927,553 26.06.2013 US
Titre (EN) SUSCEPTOR SUPPORT PORTION AND EPITAXIAL GROWTH APPARATUS INCLUDING SUSCEPTOR SUPPORT PORTION
(FR) PARTIE DE SUPPORT DE SUSCEPTEUR ET APPAREIL DE CROISSANCE ÉPITAXIALE COMPRENANT LA PARTIE DE SUPPORT DE SUSCEPTEUR
Abrégé : front page image
(EN)A susceptor support portion of the present invention includes a susceptor shaft and a substrate lift portion. The susceptor shaft includes a support column and a plurality of arms that extend radially from the support column, the substrate lift portion includes a support column and a plurality of arms that extend radially from the support column, the arm of the susceptor shaft includes a first arm, a second arm coupled to the first arm, and a third arm coupled to the second arm, from the support column side of the susceptor shaft, the second arm being provided with a through hole which passes through the second arm in a vertical direction, and a width of the first arm of the susceptor shaft is smaller than a width of the second arm of the susceptor shaft.
(FR)La présente invention concerne une partie de support de suscepteur comprenant un arbre de suscepteur et une partie servant à soulever un substrat. L'arbre de suscepteur comprend une colonne de support et une pluralité de bras qui s'étendent de manière radiale à partir de la colonne de support. La partie servant à soulever un substrat comprend une colonne de support et une pluralité de bras qui s'étendent de manière radiale à partir de la colonne de support. Le bras de l'arbre de suscepteur comprend un premier bras, un deuxième bras couplé au premier bras, et un troisième bras couplé au deuxième bras, à partir du côté de la colonne de support de l'arbre de suscepteur. Le deuxième bras est pourvu d'un trou traversant qui passe à travers le deuxième bras selon une direction verticale. La largeur du premier bras de l'arbre de suscepteur est plus petite que la largeur du deuxième bras de l'arbre de suscepteur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)