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1. (WO2014159402) SOURCE D'IONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/159402    N° de la demande internationale :    PCT/US2014/023433
Date de publication : 02.10.2014 Date de dépôt international : 11.03.2014
CIB :
H01J 37/08 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Déposants : VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, MA 01930 (US)
Inventeurs : BUFF, James; (US)
Mandataire : DAISAK, Daniel; Kacvinsky Daisak Bluni PLLC 3120 Princeton Pike Suite 303 Lawrenceville, NJ 08648 (US)
Données relatives à la priorité :
13/798,966 13.03.2013 US
Titre (EN) ION SOURCE
(FR) SOURCE D'IONS
Abrégé : front page image
(EN)An ion source (200) includes an ion source chamber (202) having a longitudinal axis (212), the ion source chamber operative to define a plasma therein. The ion source also includes a split solenoid assembly (203) comprising a first solenoid (204) and a second solenoid (204) that are mutually disposed along opposite sides of the ion source chamber, where each of the first solenoid and second solenoid comprises a metal member (208) having a long axis parallel to the longitudinal axis of the ion source chamber, and a main coil (205) having a coil axis parallel to the long axis and comprising a plurality of windings that circumscribe the metal member. The main coil defines a coil footprint that is larger than an ion source chamber footprint of the ion source chamber.
(FR)La présente invention concerne une source d'ions (200) comprenant une chambre de source d'ions (202) possédant un axe longitudinal (212), la chambre de source d'ions étant destinée à définir un plasma à l'intérieur de celle-ci. La source d'ions comprend également un ensemble solénoïde séparé (203) comprenant un premier solénoïde (204) et un second solénoïde (204) qui sont mutuellement disposés le long de côtés opposés de la chambre de source d'ions, chacun des premier et second solénoïdes comprenant un élément métallique (208) présentant un axe long parallèle à l'axe longitudinal de la chambre de source d'ions, et une bobine principale (205) présentant un axe de bobine parallèle à l'axe long et comprenant une pluralité d'enroulements qui entourent l'élément métallique. La bobine principale définit une empreinte de bobine qui est plus grande qu'une empreinte de chambre de source d'ions de la chambre de source d'ions.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)