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1. (WO2014158457) INJECTEUR INDEXÉ DE JET DE GAZ POUR SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/158457    N° de la demande internationale :    PCT/US2014/016878
Date de publication : 02.10.2014 Date de dépôt international : 18.02.2014
CIB :
H01L 21/205 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : CARLSON, David K.; (US)
Mandataire : LINARDAKIS, Leonard P.; Moser Taboada 1030 Broad Street Suite 203 Shrewsbury, New Jersey 07702 (US)
Données relatives à la priorité :
61/777,569 12.03.2013 US
Titre (EN) INDEXED GAS JET INJECTOR FOR SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
(FR) INJECTEUR INDEXÉ DE JET DE GAZ POUR SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus for use in a substrate processing chamber are provided herein. In some embodiments, a indexed jet injector for use in a process chamber may include a body having a substantially cylindrical central volume, a gas input port disposed on a first surface of the body, a gas distribution channel formed in the body fluidly coupled to the gas input port and to the cylindrical central volume, a gas distribution drum disposed within the cylindrical central volume and rotabably coupled to the body, the gas distribution drum having a plurality of jet channels formed through the gas distribution drum, and a plurality of indexer output ports formed on a second surface of the body, wherein each of the plurality of jet channels fluidly couple the gas input port to at least one of the plurality of indexer output ports at least once per 360° rotation of the gas distribution drum.
(FR)L'invention concerne des appareils pour utilisation dans une chambre de traitement de substrat. Selon certains modes de réalisation, un injecteur indexé de jet pour utilisation dans une chambre de traitement peut comprendre un corps ayant un volume central sensiblement cylindrique, un port d'entrée de gaz disposé sur une première surface du corps, un canal de distribution de gaz formé dans le corps couplé de manière fluide au port d'entrée de gaz et au volume central cylindrique, un tambour de distribution de gaz disposé dans le volume central cylindrique et couplé de manière pivotante au corps, le tambour de distribution de gaz ayant une pluralité de canaux de jet formés à travers le tambour de distribution de gaz, et une pluralité de ports de sortie d'indexeur formés sur une seconde surface du corps, chacun de la pluralité de canaux de jet couplant de manière fluide le port d'entrée de gaz à au moins l'un de la pluralité de ports de sortie d'indexeur au moins une fois pour chaque rotation à 360° du tambour de distribution de gaz.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)