Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2014158441) PROCÉDÉS DE COMMANDE D'AUTO-ASSEMBLAGE DIRIGÉ DE PLAQUETTES

Pub. No.:    WO/2014/158441    International Application No.:    PCT/US2014/016766
Publication Date: 2 oct. 2014 International Filing Date: 18 févr. 2014
IPC: G03F 7/00
G03F 7/16
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
TOKYO ELECTRON U.S. HOLDINGS, INC.
Inventors: SOMERVELL, Mark, H.
Title: PROCÉDÉS DE COMMANDE D'AUTO-ASSEMBLAGE DIRIGÉ DE PLAQUETTES
Abstract:
La présente invention concerne un procédé (100) permettant de traiter un substrat en couche comprenant une couche de copolymère séquencé. Le procédé (100) fait appel : à l'identification d'une non-uniformité dans la couche du copolymère séquencé (120) ; à la commande d'une variable de traitement en corrélation avec la non-uniformité de la couche du copolymère séquencé (140) ; et au recuit de la couche du copolymère séquencé dans des conditions de traitement affectées par la variable de traitement (160) de façon à compenser au moins une partie de la non-uniformité de la couche du copolymère séquencé pour former un motif comprenant une pluralité de domaines présentant une uniformité améliorée en leur sein. Le procédé (100) fait en outre appel à une façon de réduire une non-uniformité dans un substrat en couche comprenant une couche de copolymère séquencé sur un substrat ayant fait l'objet d'une formation préalable de motif.