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1. (WO2014157882) APPAREIL DE MESURE DE TSV ET PROCÉDÉ DE MESURE DE TSV
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/157882    N° de la demande internationale :    PCT/KR2014/002434
Date de publication : 02.10.2014 Date de dépôt international : 24.03.2014
CIB :
G01N 21/88 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : SNU PRECISION CO., LTD. [KR/KR]; 124, Asan Valley Nam-ro, Dunpo-myeon Asan-si Chungcheongnam-do 336-871 (KR)
Inventeurs : HWANG, Young Min; (KR).
KIM, Seong Ryong; (KR).
JO, Tae Young; (KR)
Mandataire : KIM, Tae Wan; JIYUL INTERNATIONAL PATENT AND LAW FIRM 6th Fl., 51 Seocho-daero 42-gil Seocho-gu Seoul 137-873 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2013-0034050 29.03.2013 KR
Titre (EN) TSV MEASURING APPARATUS AND TSV MEASURING METHOD
(FR) APPAREIL DE MESURE DE TSV ET PROCÉDÉ DE MESURE DE TSV
(KO) TSV 측정장치 및 측정방법
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed are a TSV measuring apparatus and a TSV measuring method for measuring a via hole such as a TSV. The TSV measuring apparatus, for measuring a TSV formed on an object being measured, comprises: a light source; a digital variable aperture, provided on a path of light irradiated from the light source, for adjusting a light-irradiating area of the light irradiated from the light source according to an aspect ratio of the TSV; a beam splitter for outputting the light having passed through the digital variable aperture by splitting the light into the first direction and the second direction perpendicular to each other, and outputting a combined light by combining a first reflected light, which is reflected from the object being measured disposed in the first direction, and a second reflected light, which is reflected from a mirror disposed in the second direction; and a detector for measuring the TSV by using the combined light guided from the beam splitter, wherein the digital variable aperture performs a function of apertures having selectively different diameters according to the aspect ratio of the TSV without physical movement.
(FR)L'invention porte sur un appareil de mesure de TSV et un procédé de mesure de TSV pour mesurer un trou d'interconnexion tel qu'un TSV. L'appareil de mesure de TSV, servant à mesurer un TSV formé sur un objet soumis à une mesure, comprend : une source de lumière ; une ouverture variable numérique, placée sur un chemin de la lumière émise par la source de lumière, pour régler une aire d'exposition à la lumière de la lumière émise par la source de lumière en fonction d'un rapport longueur/largeur du TSV ; un séparateur de faisceau pour délivrer la lumière qui est passée à travers l'ouverture variable numérique par séparation de la lumière en une première direction et une seconde direction perpendiculaires l'une à l'autre, et délivrer une lumière combinée par combinaison d'une première lumière réfléchie, qui est réfléchie par l'objet qui est mesuré disposé dans la première direction, et d'une seconde lumière réfléchie, qui est réfléchie par un miroir disposé dans la seconde direction ; et un détecteur pour mesurer le TSV par utilisation de la lumière combinée guidée en provenance du séparateur de faisceau, l'ouverture variable numérique remplissant la fonction d'ouvertures ayant des diamètres sélectivement différents en fonction du rapport longueur/largeur du TSV sans mouvement physique.
(KO)TSV와 같은 비아홀을 측정할 수 있는 TSV 측정장치 및 측정방법이 개시된다. 측정대상물에 형성된 TSV를 측정하기 위한 TSV 측정장치는, 광원, 광원으로부터 조사되는 광의 경로 상에 제공되며 TSV의 종횡비(aspect ratio)에 따라 광원으로부터 조사되는 광의 조사면적을 조절하는 디지털 가변 조리개부, 디지털 가변 조리개부를 통과한 광을 서로 수직인 제1방향과 제2방향으로 분할하여 출력하고 제1방향에 배치된 측정대상물로부터 반사되는 제1반사광 및 제2방향에 배치된 미러로부터 반사되는 제2반사광을 결합하여 결합광으로 출력하는 빔 스플리터, 및 빔 스플리터로부터 안내된 결합광을 이용하여 TSV를 측정하는 검출부를 포함하고, 디지털 가변 조리개부는 물리적인 이동없이 TSV의 종횡비에 대응하여 선택적으로 서로 다른 구경 크기를 갖는 조리개 기능을 수행한다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)