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1. (WO2014156692) DISPOSITIF D'USINAGE LASER ET PROCÉDÉ D'USINAGE LASER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/156692    N° de la demande internationale :    PCT/JP2014/056728
Date de publication : 02.10.2014 Date de dépôt international : 13.03.2014
CIB :
B23K 26/53 (2014.01), B23K 26/06 (2014.01), B23K 26/064 (2014.01), B23K 26/40 (2014.01), H01L 21/301 (2006.01)
Déposants : HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558 (JP)
Inventeurs : KAWAGUCHI Daisuke; (JP).
NAKANO Makoto; (JP).
SUGIO Ryota; (JP).
HIROSE Tsubasa; (JP).
ARAKI Keisuke; (JP)
Mandataire : HASEGAWA Yoshiki; SOEI PATENT AND LAW FIRM, Marunouchi MY PLAZA (Meiji Yasuda Life Bldg.) 9th fl., 1-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2013-065978 27.03.2013 JP
2013-065987 27.03.2013 JP
2013-065990 27.03.2013 JP
Titre (EN) LASER MACHINING DEVICE AND LASER MACHINING METHOD
(FR) DISPOSITIF D'USINAGE LASER ET PROCÉDÉ D'USINAGE LASER
(JA) レーザ加工装置及びレーザ加工方法
Abrégé : front page image
(EN)This invention is for forming modified regions (7) on a workpiece (1) by condensing ultrashort-pulsed laser light on the workpiece (1), and is provided with a laser light source (202) for emitting laser light (L), a light condensing optical system (4) for condensing the laser light (L) emitted by the laser light source (202) onto the workpiece (1), and an aberration induction unit (203) for inducing an aberration in the laser light (L) condensed on the workpiece (1) by the light condensing optical system (4). When the range of the condensation-induced aberration, which is aberration occurring at the condensation position due to the condensation of the laser light (L) on the workpiece (1), in the optical axis direction of the laser light (L) is set as a reference aberration range, the aberration induction unit (203) induces a first aberration in the laser light such that the aberration range of the laser light is a long range longer than the reference aberration range in the optical axis direction, and such that the intensity distribution of the laser light in the optical axis direction has continuous increases and decreases throughout the long range, to thereby improve the machining quality.
(FR)L'invention vise à former des régions de reformage (7) sur une cible d'usinage (1) par condensation d'une lumière laser pulsée ultracourte sur la cible d'usinage (1), et comporte une source de lumière laser (202) pour émettre une lumière laser (L), un système optique de condensation de lumière (4) pour condenser la lumière laser (L) émise par la source de lumière laser (202) sur la cible d'usinage (1), et une unité de création d'aberration (203) pour créer une aberration dans la lumière laser (L) condensée sur la cible d'usinage (1) par le système optique de condensation de lumière (4). Lorsque la plage d'aberration induite par condensation dans la direction d'axe optique de la lumière laser (L) est désignée comme étant une plage d'aberration standard, l'aberration induite par condensation étant une aberration se produisant dans la position de condensation en résultat de la condensation de la lumière laser (L) sur la cible d'usinage (1), l'unité de création d'aberration (203) crée une première aberration dans la lumière laser de façon à avoir une longue plage qui est plus longue que la plage d'aberration standard dans la direction d'axe optique en tant que plage d'aberration, et également de façon à avoir un niveau d'intensité tel que la distribution d'intensité de lumière laser (L) dans la direction optique est continue dans la longue plage ; ce par quoi la qualité d'usinage est améliorée.
(JA)超短パルス光のレーザ光を加工対象物(1)に集光させることにより加工対象物(1)に改質領域(7)を形成する発明であって、レーザ光(L)を出射するレーザ光源(202)と、レーザ光源(202)により出射されたレーザ光(L)を加工対象物(1)に集光する集光光学系(4)と、集光光学系(4)により加工対象物(1)に集光されるレーザ光(L)に収差を付与する収差付与部(203)と、を備え、レーザ光(L)の光軸方向において、加工対象物(1)にレーザ光(L)を集光させることに起因して当該集光位置で発生する収差である集光発生収差の範囲を基準収差範囲とした場合、収差付与部(203)は、光軸方向において基準収差範囲よりも長い長尺範囲を収差の範囲として有し、且つ光軸方向におけるレーザ光の強度分布が長尺範囲にて連続する強弱を有するように、レーザ光に第1収差を付与することで、加工品質を向上させる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)