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1. (WO2014156628) DISPOSITIF DE PHOTO-IRRADIATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/156628    N° de la demande internationale :    PCT/JP2014/056415
Date de publication : 02.10.2014 Date de dépôt international : 12.03.2014
CIB :
H01L 21/304 (2006.01), B08B 7/00 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 2-6-1, Ote-machi, Chiyoda-ku, Tokyo 1008150 (JP)
Inventeurs : HIROSE, Kenichi; (JP).
MURAKAMI, Tetsuya; (JP)
Mandataire : OHI, Masahiko; Nankodo 2nd Building, 43-13, Hongo 3-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 1130033 (JP)
Données relatives à la priorité :
2013-068518 28.03.2013 JP
2013-266563 25.12.2013 JP
Titre (EN) PHOTO-IRRADIATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE PHOTO-IRRADIATION
(JA) 光照射装置
Abrégé : front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide a photo-irradiation device which allows for a substantially constant distance between the light emission surface of a light transmission window and the surface of an object to be processed, and which is capable of uniformly processing the object to be processed. The photo-irradiation device comprising an ultraviolet emission lamp for irradiating an object to be processed placed in an oxygen atmosphere with vacuum-ultraviolet light, and a light transmission window disposed between the object to be processed and the ultraviolet emission lamp for transmitting the vacuum-ultraviolet light from the ultraviolet emission lamp, wherein the light transmission window is disposed to press the object to be processed with a spacer for pressing an object to be processed, thus creating a gap that establishes a constant distance between the light emission surface of the light transmission window and the surface of the object to be processed.
(FR)L'objectif de la présente invention est de fournir un dispositif de photo-irradiation qui permet d'obtenir une distance sensiblement constante entre la surface d'émission de lumière d'une fenêtre de transmission de lumière et la surface d'un objet à traiter, et qui est apte à traiter de manière uniforme l'objet à traiter. Le dispositif de photo-irradiation comprenant une lampe d'émission d'ultraviolets pour irradier un objet à traiter placé dans une atmosphère d'oxygène avec une lumière dans l'ultraviolet du vide, et une fenêtre de transmission de lumière disposée entre l'objet à traiter et la lampe d'émission d'ultraviolet pour transmettre la lumière dans l'ultraviolet du vide provenant de la lampe d'émission d'ultraviolets, la fenêtre de transmission de lumière étant disposée pour presser l'objet à traiter avec une entretoise pour presser un objet à traiter, ce qui crée un intervalle qui établit une distance constante entre la surface d'émission de lumière de la fenêtre de transmission de lumière et la surface de l'objet à traiter.
(JA) 本発明は、光透過窓の光出射面と被処理物の表面との間の距離を実質的に一定の大きさにすることができ、被処理物を均一に処理することのできる光照射装置を提供することを目的とする。 この光照射装置は、酸素雰囲気下に配置される被処理物に対して真空紫外光を出射する紫外線出射ランプと、被処理物と紫外線出射ランプとの間に配置された、紫外線出射ランプからの真空紫外光を透過する光透過窓とを備えた構成のものにおいて、光透過窓が、被処理物押さえ用スペーサを介して被処理物に対して押圧状態で配置されて、光透過窓の光出射側の表面と被処理物の表面との間の距離が一定の大きさとされた間隙が形成される構成とされている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)