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1. (WO2014154433) COLLECTEUR DE RAYONNEMENT, SOURCE DE RAYONNEMENT ET APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/154433    N° de la demande internationale :    PCT/EP2014/053753
Date de publication : 02.10.2014 Date de dépôt international : 26.02.2014
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL).
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventeurs : LOOPSTRA, Erik; (NL).
BEERENS, Ruud; (NL).
BIELING, Stig; (DE).
CADEE, Theodorus; (NL).
DONDERS, Sjoerd; (NL).
FRIJNS, Olav; (NL).
KEMPEN, Antonius; (NL).
SCHEEPERS, Marcus; (NL).
STRUYCKEN, Alexander; (NL).
TEN KATE, Nicolaas; (NL).
VANDERHALLEN, ivo; (NL).
VAN LIESHOUT, Richard; (NL)
Mandataire : SIEM, Max Yoe Shé; P.O. Box 324 P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
61/805,603 27.03.2013 US
61/856,165 19.07.2013 US
Titre (EN) RADIATION COLLECTOR, RADIATION SOURCE AND LITHOGRAPHIC APPARATUS
(FR) COLLECTEUR DE RAYONNEMENT, SOURCE DE RAYONNEMENT ET APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A radiation collector comprising a first collector segment comprising a plurality of grazing incidence reflector shells configured to direct radiation to converge in a first location at a distance from the radiation collector, a second collector segment comprising a plurality of grazing incidence reflector shells configured to direct radiation to converge in a second location at said distance from the radiation collector, wherein the first location and the second location are separated from one another.
(FR)L'invention concerne un collecteur de rayonnement comprenant un premier segment collecteur comprenant une pluralité de coques réflectrices d'incidence rasante servant à diriger le rayonnement pour qu'il converge dans un premier emplacement à une certaine distance du collecteur de rayonnement, un second segment collecteur comprenant une pluralité de coques réflectrices d'incidence rasante servant à diriger le rayonnement pour qu'il converge vers un second emplacement à ladite distance du collecteur de rayonnement, le premier emplacement et le second emplacement étant séparés l'un de l'autre.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)