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1. (WO2014153827) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE DÉCOMPRESSION ET DE SÉCHAGE D'UN SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/153827    N° de la demande internationale :    PCT/CN2013/076178
Date de publication : 02.10.2014 Date de dépôt international : 23.05.2013
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), F26B 5/04 (2006.01)
Déposants : BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD. [CN/CN]; No.10 Jiuxianqiao Rd., Chaoyang District Beijing 100015 (CN).
BEIJING BOE DISPLAY TECHNOLOGY CO., LTD. [CN/CN]; No.118 Jinghaiyilu, BDA Beijing 100176 (CN)
Inventeurs : WANG, Song; (CN).
WAN, Jiyu; (CN).
FENG, He; (CN).
WU, Hongjiang; (CN)
Mandataire : LIU, SHEN & ASSOCIATES; 10th Floor, Building 1, 10 Caihefang Road, Haidian District Beijing 100080 (CN)
Données relatives à la priorité :
201310103630.7 28.03.2013 CN
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR SUBSTRATE DECOMPRESSION AND DRYING
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE DÉCOMPRESSION ET DE SÉCHAGE D'UN SUBSTRAT
(ZH) 一种基板减压干燥方法及装置
Abrégé : front page image
(EN)A method and an apparatus for substrate decompression and drying. First, a substrate is placed in a closed space; then, a to—be-dried surface of the substrate is divided into the set number of sealed areas; air extraction is performed on the sealed areas for decompression; and finally, the sealed areas are blown and dried, and the substrate is taken out of the closed space. The method can decompress and dry substrates of different sizes, thereby ensuring uniformity of pressure and humidity, and preventing forming of decompression and drying spots.
(FR)La présente invention concerne un procédé et un appareil de décompression et de séchage d'un substrat. En premier lieu, un substrat est placé dans un espace fermé; après cela, une surface à sécher du substrat est divisée en un nombre défini de zones fermées hermétiquement; une extraction de l'air est effectuée sur les zones fermées hermétiquement en vue d'une décompression; et enfin, les zones fermées hermétiquement sont soumises à un soufflage et séchées, et le substrat est sorti de l'espace fermé. Le procédé permet de décomprimer et de sécher des substrats de tailles différentes, garantissant ainsi l'uniformité de la pression et de l'humidité, et empêchant la formation de taches de décompression et de séchage.
(ZH)一种基板减压干燥方法及装置。首先将基板置于密封空间;然后将所述基板的待干燥面划分为设定个密封区;之后对所述密封区抽气减压;最后对所述密封区吹起干燥,从密封空间取出基板。该方法能够对各种尺寸的基板进行减压干燥;保证了压力和湿度均匀,避免了减压干燥斑点的形成。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)