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1. (WO2014100480) GÉNÉRATION D'UN RÉSEAU DE TACHES SUR DES SURFACES INCLINÉES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/100480    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/076695
Date de publication : 26.06.2014 Date de dépôt international : 19.12.2013
CIB :
G01B 11/30 (2006.01), G01N 21/956 (2006.01), G02B 5/18 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; KLA-Tencor Corporation Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventeurs : ZHAO, Guoheng; (US)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; KLA-TENCOR CORP. Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Données relatives à la priorité :
13/719,928 19.12.2012 US
Titre (EN) GENERATING AN ARRAY OF SPOTS ON INCLINED SURFACES
(FR) GÉNÉRATION D'UN RÉSEAU DE TACHES SUR DES SURFACES INCLINÉES
Abrégé : front page image
(EN)A system which may be used to generate a plurality of spots on a surface is provided. The spots may be aligned with the incident plane of oblique illumination. The system may include a diffractive optical element configured to split a beam into a plurality of beams by generating a plurality of diffraction orders. The system may also include a focusing lens configured to focus at least some of the plurality of beams on the surface in the plurality of spots. At least some of the plurality of beams may be focused on the surface at an oblique illumination angle. The system may also include an illumination source positioned off-axis relative to an optical axis of the diffractive optical element. Using the system, a plurality of spots may be generated on an inclined surface.
(FR)L'invention concerne un système pouvant être utilisé pour générer une pluralité de taches sur une surface. Les tâches peuvent être alignées avec le plan incident d'éclairage oblique. Le système peut comprendre un élément optique diffractif configuré pour séparer un faisceau en une pluralité de faisceaux en générant une pluralité d'ordres de diffraction. Le système peut également comprendre une lentille de focalisation configurée pour concentrer au moins une partie de la pluralité de faisceaux sur la surface au niveau de la pluralité de taches. Au moins certains faisceaux parmi la pluralité de faisceaux peuvent être concentrés sur la surface sous un angle d'éclairage oblique. Le système peut également comprendre une source d'éclairage positionnée de façon désaxée par rapport à un axe optique de l'élément optique diffractif. En utilisant le système, il est possible de générer une pluralité de taches sur une surface inclinée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)