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1. (WO2014100453) ANALYSEUR DE GAZ RÉSIDUEL À DOUBLE DÉTECTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/100453    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/076641
Date de publication : 26.06.2014 Date de dépôt international : 19.12.2013
CIB :
G01N 27/62 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), C23C 14/00 (2006.01)
Déposants : INFICON INC. [US/US]; Two Technology Place East Syracuse, NY 13057 (US)
Inventeurs : WRIGHT, Kenneth, Charles; (US).
DESANTIS, John, James; (US)
Mandataire : SULLIVAN, Denis J.; Hiscock & Barclay LLP One Park Place 300 South State Street Syracuse, New York 13202 (US)
Données relatives à la priorité :
61/739,492 19.12.2012 US
Titre (EN) DUAL-DETECTION RESIDUAL GAS ANALYZER
(FR) ANALYSEUR DE GAZ RÉSIDUEL À DOUBLE DÉTECTION
Abrégé : front page image
(EN)A detector in a residual gas analyzer (RGA) is configured to receive ions traveling in a downstream direction along a beamline and includes a steering electrode offset from the beamline. A first ion-receiving electrode is at least partly on the opposite side of the steering electrode from the beamline. A second ion-receiving electrode is at least partly offset from the beamline, at least partly across the beamline from at least a portion of the steering electrode, and at least partially upstream of at least a portion of the steering electrode. A shielding electrode is arranged at least partly between the beamline and the second ion-receiving electrode. A source applies a potential to the shielding electrode. A residual gas analyzer (RGA) includes an ion source, an analyzer, and such a detector.
(FR)Selon l'invention, un détecteur dans un analyseur de gaz résiduel (RGA) est conçu pour recevoir des ions se déplaçant dans une direction avale le long d'une ligne de faisceau et comprend une électrode directionnelle décalée par rapport à la ligne de faisceau. Une première électrode de réception d'ions est au moins partiellement sur le côté opposé de l'électrode directionnelle par rapport à la ligne de faisceau. Une seconde électrode de réception d'ions est au moins partiellement décalée par rapport à la ligne de faisceau, au moins partiellement sur la ligne de faisceau à partir d'au moins une partie de l'électrode directionnelle, et au moins partiellement en amont d'au moins une partie de l'électrode directionnelle. Une électrode de blindage est agencée au moins partiellement entre la ligne de faisceau et la seconde électrode de réception d'ions. Une source applique une potentiel sur l'électrode de blindage. Un analyseur de gaz résiduel (RGA) comprend une source d'ions, un analyseur, et un tel détecteur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)