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1. (WO2014099959) SYSTÈME DE COMMANDE SPECTRALE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/099959    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/075730
Date de publication : 26.06.2014 Date de dépôt international : 17.12.2013
CIB :
G02B 27/10 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventeurs : MANASSEN, Amnon; (IL).
HILL, Andrew V.; (US).
BACHAR, Ohad; (IL).
ABRAMOV, Avi; (IL).
NEGRI, Daria; (IL)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; KLA-TENCOR CORP. Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Données relatives à la priorité :
61/738,322 17.12.2012 US
61/808,555 04.04.2013 US
13/945,352 18.07.2013 US
Titre (EN) SPECTRAL CONTROL SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE COMMANDE SPECTRALE
Abrégé : front page image
(EN)The disclosure is directed to a system and method of controlling spectral attributes of illumination. According to various embodiments, a portion of illumination including an excluded selection of illumination spectra is blocked, while another portion of the illumination including a transmitted selection of illumination spectra is directed along an illumination path. In some embodiments, optical metrology is performed utilizing the spectrally controlled illumination to enhance measurement capability. For instance, the spectral attributes of illumination utilized to analyze different portions of a sample, such as different semiconductor layers, may be selected according to certain measurement characteristics associated with the analyzed portions of the sample.
(FR)La présente invention concerne un système et un procédé de commande d'attributs spectraux d'éclairage. Selon divers modes de réalisation, une partie d'éclairage comprenant une sélection exclue de spectres d'éclairage est bloquée tandis qu'une autre partie de l'éclairage comprenant une sélection transmise de spectres d'éclairage est dirigée le long d'un trajet d'éclairage. Selon certains modes de réalisation, on effectue une métrologie optique au moyen de l'éclairage commandé du point de vue spectral pour améliorer la capacité de mesure. Par exemple, les attributs spectraux d'éclairage utilisés pour analyser différentes parties d'un échantillon, telles que différentes couches semi-conductrices, peuvent être sélectionnés conformément à certaines caractéristiques de mesures associées aux parties analysées de l'échantillon.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)