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1. (WO2014096299) APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET TABLE DESTINÉE À ÊTRE UTILISÉE DANS UN TEL APPAREIL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/096299    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/077561
Date de publication : 26.06.2014 Date de dépôt international : 20.12.2013
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : FRENCKEN, Mark, Johannes, Hermanus; (NL).
JEUNINK, Andre, Bernardus; (NL).
DE VREEDE, Frederikus, Johannes, Maria; (NL).
KRAMER, Gijs; (NL)
Mandataire : VERDONK, Peter; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
61/740,357 20.12.2012 US
Titre (EN) LITHOGRAPHIC APPARATUS AND TABLE FOR USE IN SUCH AN APPARATUS
(FR) APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET TABLE DESTINÉE À ÊTRE UTILISÉE DANS UN TEL APPAREIL
Abrégé : front page image
(EN)A table (WT) for use in an immersion lithographic apparatus, the table comprising: a first planar surface (112); and a swap bridge member (150) defining an upper surface (152) which extends from and is substantially co-planar with the first planar surface; wherein the swap bridge member is configured to deform when the swap bridge member collides with another object, while remaining attached to the table.
(FR)L'invention concerne une table (WT) destinée à être utilisée dans un appareil lithographique à immersion, la table comprenant : une première surface plate (112); et un élément de liaison d'échange (150) définissant une surface supérieure (152) qui s'étend à partir de et est sensiblement coplanaire avec la première surface plate; l'élément de liaison d'échange étant configuré pour se déformer lorsque l'élément de liaison d'échange entre en collision avec un autre objet, tout en restant fixé à la table.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)