WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2014095432) GROUPE DE POMPAGE PERMETTANT DE POMPER DES GAZ LÉGERS ET UTILISATION DU GROUPE DE POMPAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/095432    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/075835
Date de publication : 26.06.2014 Date de dépôt international : 06.12.2013
CIB :
F04B 37/14 (2006.01), F04B 37/18 (2006.01), F04B 41/06 (2006.01)
Déposants : OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH [DE/DE]; Bonner Straße 498 50968 Köln (DE)
Inventeurs : SCHILLER, Dirk; (DE).
SCHNEIDENBACH, Daniel; (DE).
DREIFERT, Thomas; (DE)
Mandataire : VON KREISLER SELTING WERNER; Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln (DE)
Données relatives à la priorité :
202012012359.9 22.12.2012 DE
Titre (DE) PUMPSTAND ZUM PUMPEN LEICHTER GASE SOWIE VERWENDUNG DES PUMPSTANDES
(EN) PUMPING UNIT FOR PUMPING LIGHT GASES, AND USE OF THE PUMPING UNIT
(FR) GROUPE DE POMPAGE PERMETTANT DE POMPER DES GAZ LÉGERS ET UTILISATION DU GROUPE DE POMPAGE
Abrégé : front page image
(DE)Ein Pumpstand zum Pumpen leichter Gase weist eine erste mit der zu evakuierenden Kammer (10) verbundene trockenverdichtende Pumpe (12) sowie eine mit der ersten trockenverdichtende Pumpe (12) verbundene zweite trockenverdichtende Pumpe (14) auf. Ebenfalls weist der Pumpstand weitere parallel oder in Reihe zu diesen Pumpen angeordnete trockenverdichtende Pumpen auf. Zur Vermeidung der Verunreinigung der leichten Gase aufgrund des Vorsehens ölgedichteter Pumpen oder aufgrund des Vorsehens von Purgegas handelt es sich erfindungsgemäß um trockenverdichtende Pumpen, die gegenüber der Umgebung hermetisch dicht sind, sodass niedrige Prozessdrücke in der zu evakuierenden Kammer (10) erzeugt werden können.
(EN)A pumping unit for pumping light gases has a first dry vacuum pump (12) which is connected to the chamber (10) to be evacuated and a second dry vacuum pump (14) which is connected to the first dry vacuum pump (12). The pumping unit likewise has further dry vacuum pumps which are arranged in parallel or in series with respect to said pumps. According to the invention, they are dry vacuum pumps in order to avoid contamination of the light gases on account of the provision of oil-sealed pumps or on account of the provision of purge gas, which dry vacuum pumps are sealed hermetically with respect to the surroundings, with the result that low process pressures can be generated in the chamber (10) to be evacuated.
(FR)L'invention concerne un groupe de pompage permettant de pomper des gaz légers. Ce groupe comprend une première pompe à compression sèche (12) reliée à la chambre (10) dans laquelle le vide doit être créé, ainsi qu'une seconde pompe à compression sèche (14) reliée à la première pompe à compression sèche (12). De même, le groupe de pompage comprend d'autres pompes à compression sèche montées en parallèle ou en série par rapport à ces pompes. L'objet de l'invention est d'éviter l'encrassement des gaz légers dû à la présence de pompes étanchéifiées par de l'huile ou dû à la présence d'un gaz de purge. Cet objectif est atteint selon l'invention par des pompes à compression sèche, lesquelles sont hermétiquement étanches par rapport aux zones environnantes, de telle manière que de faibles pressions de traitement peuvent être produites dans la chambre (10) dans laquelle le vide doit être créé.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)