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1. (WO2014094262) CAVITÉ DE COMBINAISON DE LASER À EXCIMÈRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/094262    N° de la demande internationale :    PCT/CN2012/086971
Date de publication : 26.06.2014 Date de dépôt international : 20.12.2012
CIB :
H01S 3/08 (2006.01), H01S 3/10 (2006.01)
Déposants : ACADEMY OF OPTO-ELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES [CN/CN]; No 9 Deng Zhuang South Road, Haidian District Beijing 100094 (CN)
Inventeurs : ZHOU, Yi; (CN).
SHAN, Yaoying; (CN).
FAN, Yuanyuan; (CN).
SONG, Xingliang; (CN).
ZHANG, Lijia; (CN).
CUI, Huirong; (CN).
WANG, Yu; (CN)
Mandataire : CHINA SCIENCE PATENT & TRADEMARK AGENT LTD.; 11/F., Bldg. D, International Finance and Economics Center No.87, West 3rd Ring North Rd., Haidian District Beijing 100089 (CN)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) EXCIMER LASER COMBINATION CAVITY
(FR) CAVITÉ DE COMBINAISON DE LASER À EXCIMÈRE
(ZH) 准分子激光器复合腔
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is an excimer laser combination cavity, comprising a laser discharge cavity, a laser output module, a line-width narrowing module, and a laser amplification module; the laser discharge cavity contains working gas therein; the working gas generates a laser under the effect of an excitation source; the laser discharge cavity, the laser output module, and the line-width narrowing module form a line-width narrowing cavity for narrowing the line-width of the laser generated by the working gas; the laser discharge cavity, the laser output module, and the laser amplification module form an amplification cavity for amplifying the energy of the laser after the line-width is narrowed. The present invention can output a narrow line-width of an excimer laser, and improve the energy and stability of the outputted laser via the combination cavity design. In addition, the combination cavity of the present invention has a simple structure and is easy to manufacture and tune.
(FR)L'invention concerne une cavité de combinaison de laser à excimère comprenant une cavité de décharge laser, un module de sortie laser, un module de réduction de largeur de raie, et un module d'amplification laser; la cavité de décharge laser contient le gaz actif à l'intérieur; le gaz actif produit un laser sous l'effet d'une source d'excitation; la cavité de décharge laser, le module de sortie laser et le module de réduction de largeur de raie forment une cavité de réduction de largeur de raie permettant de réduire la largeur de raie du laser produit par le gaz actif; la cavité de décharge laser, le module de sortie laser et le module d'amplification laser forment une cavité d'amplification permettant d'amplifier l'énergie du laser après la réduction de la largeur de raie. La présente invention peut produire en sortie une largeur de raie étroite d'un laser à excimère, et améliorer l'énergie et la stabilité du laser produit en sortie grâce à la conception de la cavité de combinaison. De plus, la cavité de combinaison de la présente invention a une structure simple et est facile à fabriquer et à accorder.
(ZH)本发明公开了一种准分子激光器复合腔,包括激光放电腔、激光输出模块、线宽压窄模块和激光放大模块,所述激光放电腔内包含有工作气体,该工作气体在激励源作用下能产生激光,其中所述激光放电腔、激光输出模块和线宽压窄模块构成一个线宽压窄腔,用于对所述工作气体产生的激光进行线宽压窄;所述激光放电腔、激光输出模块和激光放大模块构成一个放大腔,用于对所述经线宽压窄后的激光进行能量放大。本发明不仅可以实现准分子激光器窄线宽的输出,而且通过复合腔的设计,可以提高输出激光的能量及稳定性,同时本发明的复合腔结构简单,便于加工,调谐方便。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)