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1. (WO2014092228) APPAREIL DE TRANSFERT DE PUCE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE CELUI-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/092228    N° de la demande internationale :    PCT/KR2012/011062
Date de publication : 19.06.2014 Date de dépôt international : 18.12.2012
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/50 (2006.01)
Déposants : SEMICS INC. [KR/KR]; C-803 Bundang Technopark, 280, Yatamnam-ro, Bundang-gu, Seongnam-si, Gyeonggi-do 463-760 (KR)
Inventeurs : HAN, Kyung Rok; (KR)
Mandataire : LEE, Ji-Yeon; Suite 301 Chungdong Building, 1659-2 Inhundong, Gwanak-gu, Seoul 151-832 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2012-0144373 12.12.2012 KR
Titre (EN) CHIP TRANSFER APPARATUS AND METHOD OF CONTROLLING SAME
(FR) APPAREIL DE TRANSFERT DE PUCE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE CELUI-CI
(KO) 칩 이송장치 및 그 제어 방법
Abrégé : front page image
(EN)A chip transfer apparatus according to the present invention comprises: an arm driving module having two arms symmetrically mounted on a side of a rotating shaft, for rotating or vertically moving the rotating shaft; an ejector module disposed below a wafer frame for adjusting the vertical position of the wafer frame and the horizontal position of a needle to correspond to each arm of the arm driving module; a sub chuck module disposed below a bin frame, for adjusting the vertical position of the bin frame to correspond to each arm of the arm driving module; and a controller for controlling the operations of the arm driving module, the ejector module, and the sub chuck module. The chip transfer apparatus has a plurality of arm driving modules, and the controller controls the arm driving modules so that the arms thereof do not collide, enabling chip transfer speed and precision to be improved.
(FR)L'invention porte sur un appareil de transfert de puce qui comprend : un module de pilotage de bras ayant deux bras montés symétriquement sur un côté d'un arbre rotatif, pour mettre en rotation ou déplacer verticalement l'arbre rotatif ; un module éjecteur disposé sous un cadre de tranche de semi-conducteur pour régler la position verticale du cadre de tranche de semi-conducteur et la position horizontale d'une aiguille afin de correspondre à chaque bras du module de pilotage de bras ; un module de sous-mandrin disposé sous un cadre de plateau, pour régler la position verticale du cadre de plateau afin de correspondre à chaque bras du module de pilotage de bras ; et un dispositif de commande pour commander les opérations du module de pilotage de bras, du module éjecteur, et du module de sous-mandrin. L'appareil de transfert de puce possède une pluralité de modules de pilotage de bras, et le dispositif de commande commande les modules de pilotage de bras de telle sorte que les bras de ceux-ci n'entrent pas en collision, permettant à la vitesse et à la précision de transfert de puce d'être améliorées.
(KO)본 발명에 따른 칩 이송 장치는, 회전축의 측면에 2개의 암이 서로 대칭되도록 장착되고, 상기 회전축을 회전시키거나 수직 이동시키는 암 구동모듈; 웨이퍼 프레임의 하부에 배치되고, 상기 암 구동모듈의 각 암에 대응하여 웨이퍼 프레임의 수직 위치 및 니들의 수평 위치를 조정하는 이젝터 모듈; 빈 프레임의 하부에 배치되고, 상기 암 구동모듈의 각 암에 대응하여 빈 프레임의 수직 위치를 조정하는 서브척 모듈; 상기 암 구동 모듈, 이젝터 모듈 및 서브척 모듈의 동작을 제어하는 제어부;를 구비한다. 상기 칩 이송 장치는 다수 개의 암 구동 모듈을 구비하고, 상기 제어부가 암 구동 모듈의 암들이 충돌되지 않도록 제어함으로써, 칩 이송 속도 및 정밀도를 향상시킬 수 있다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)