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1. (WO2014092046) UNITÉ DE FILTRE DE PURIFICATION DE GAZ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/092046    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/082961
Date de publication : 19.06.2014 Date de dépôt international : 09.12.2013
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    08.07.2014    
CIB :
C01B 13/10 (2006.01), B01D 53/02 (2006.01), B01D 53/04 (2006.01), B01D 63/14 (2006.01), B01D 71/32 (2006.01), B01D 71/36 (2006.01), B01J 20/18 (2006.01)
Déposants : ENTEGRIS, INC. [US/US]; 129 Concord Road Billerica, Massachusetts 018214600 (US) (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IR, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
NOZAKI Fumio [JP/JP]; (JP) (US only).
SHIMADA Yutaka [JP/JP]; (JP) (US only)
Inventeurs : NOZAKI Fumio; (JP).
SHIMADA Yutaka; (JP)
Mandataire : MURAYAMA Yasuhiko; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-273367 14.12.2012 JP
Titre (EN) GAS PURIFICATION FILTER UNIT
(FR) UNITÉ DE FILTRE DE PURIFICATION DE GAZ
(JA) 気体浄化フィルターユニット
Abrégé : front page image
(EN)This gas purification filter unit (10) is provided with: a first elimination unit (11) that eliminates gas component impurities among the impurities contained in ozone generated from an ozone generating device; and a second elimination unit (12) that is disposed at a later stage than the first elimination unit and that further eliminates solid particulate impurities from among the impurities from which the gas component has been eliminated. Ozone containing impurities are caused to flow in from the inflow end (10a) of such a gas purification filter unit (10) and is passed through the first elimination unit (11) and second elimination unit (12), and thus ozone from which impurities have been eliminated is discharged from an outflow end (10b).
(FR)Cette unité de filtre de purification de gaz (10) comprend : une première unité d'élimination (11) qui élimine des impuretés de composant de gaz parmi les impuretés contenues dans l'ozone généré à partir d'un dispositif de génération d'ozone ; et une seconde unité d'élimination (12) qui est disposée sur un étage ultérieur par rapport à la première unité d'élimination et qui élimine encore les impuretés particulaires solides parmi les impuretés à partir desquelles le composant de gaz a été éliminé. Des impuretés contenant de l'ozone sont amenées à s'écouler dans l'extrémité d'écoulement d'entrée (10a) d'une telle unité de filtre de purification de gaz (10) et sont passées à travers la première unité d'élimination (11) et la seconde unité d'élimination (12), et ainsi l'ozone à partir duquel les impuretés ont été éliminées est évacué à partir d'une extrémité d'écoulement de sortie (10b).
(JA) 気体浄化フィルターユニット(10)は、オゾン発生装置によって発生させたオゾンに含まれる不純物のうち、気体成分の不純物を除去する第一除去部(11)と、この第一除去部の後段に配置され、気体成分が除去された不純物から、更に固体微粒子の不純物を除去する第二除去部(12)とを備えている。こうした気体浄化フィルターユニット(10)の流入端(10a)から不純物を含むオゾンを流入させ、第一除去部(11)および第二除去部(12)を透過させることにより、流出端(10b)から不純物が除去されたオゾンが排出される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)