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1. (WO2014090510) CHAMBRE À VIDE AVEC DISPOSITIF D’INSPECTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/090510    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/074055
Date de publication : 19.06.2014 Date de dépôt international : 18.11.2013
CIB :
B22F 3/105 (2006.01), B29C 67/00 (2006.01), C23C 14/52 (2006.01), C23C 16/48 (2006.01)
Déposants : ARCAM AB [SE/SE]; Krokslätts Fabriker 27A S-43137 Mölndal (SE)
Inventeurs : LÖWGREN, Lars; (SE).
WILDHEIM, Martin; (SE)
Données relatives à la priorité :
61/735,323 10.12.2012 US
Titre (EN) VACUUM CHAMBER WITH INSPECTION DEVICE
(FR) CHAMBRE À VIDE AVEC DISPOSITIF D’INSPECTION
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a vacuum chamber in which metallic vapours are deposited, said vacuum chamber comprising at least one reflector and a tube, where a first end of said tube is arranged inside said vacuum chamber and provided for receiving electromagnetic radiation, a second end of said tube is extending inside said vacuum chamber and a central axis of said tube is slanted with respect to a surface of a substrate surface which is generating metallic vapour. Said reflector is arranged inside said vacuum chamber to reflect electromagnetic radiation which is exiting from said second end of said tube onto said substrate surface which is generating metallic vapour.
(FR)La présente invention concerne une chambre à vide dans laquelle des vapeurs métalliques sont déposées, ladite chambre à vide comprenant au moins un réflecteur et un tube, où une première extrémité dudit tube est agencée à l’intérieur de ladite chambre à vide et configurée pour recevoir un rayonnement électromagnétique, une deuxième extrémité dudit tube s’étend à l’intérieur de ladite chambre à vide et un axe central dudit tube est incliné par rapport à une surface d’une surface de substrat qui génère de la vapeur métallique. Ledit réflecteur est agencé à l’intérieur de ladite chambre à vide pour réfléchir le rayonnement électromagnétique qui sort de ladite deuxième extrémité dudit tube sur ladite surface du substrat qui génère de la vapeur métallique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)