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1. (WO2014090115) SYSTÈME DE RAIDEUR NÉGATIVE POUR COMPENSATION DE GRAVITÉ DE MICROPOSITIONNEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/090115    N° de la demande internationale :    PCT/CN2013/088753
Date de publication : 19.06.2014 Date de dépôt international : 06.12.2013
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), F16F 15/00 (2006.01), F16F 7/00 (2006.01), F16F 3/00 (2006.01)
Déposants : SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD. [CN/CN]; No. 1525, Zhangdong Road, Zhangjiang Hi-Tech Park, Pudong Shanghai 201203 (CN).
TSINGHUA UNIVERSITY [CN/CN]; Post Box100084 Branch 82, Tsinghua Univeristy Patent Office, Haidian District Beijing 100084 (CN)
Inventeurs : ZHU, Yu; (CN).
ZHANG, Ming; (CN).
LIU, Zhao; (CN).
CHENG, Rong; (CN).
WANG, Jing; (CN).
TIAN, Li; (CN).
XU, Dengfeng; (CN).
YANG, Kaiming; (CN).
HU, Jinchun; (CN).
YIN, Wensheng; (CN).
MU, Haihua; (CN).
LIU, Hao; (CN).
HU, Chuxiong; (CN)
Mandataire : BEIJING GRANDER IP LAW FIRM; Room 18A6, East Wing, Hanwei Plaza, No.7 Guanghua Road, Chaoyang District Beijing 100004 (CN)
Données relatives à la priorité :
201210537786.1 12.12.2012 CN
Titre (EN) NEGATIVE STIFFNESS SYSTEM FOR GRAVITY COMPENSATION OF MICROPOSITIONER
(FR) SYSTÈME DE RAIDEUR NÉGATIVE POUR COMPENSATION DE GRAVITÉ DE MICROPOSITIONNEUR
(ZH) 一种用于微动台重力补偿的负刚度系统
Abrégé : front page image
(EN)A negative stiffness system for gravity compensation of a micropositioner is mainly used in a wafer-stage micropositioner system of a photoetching machine. The negative stiffness system comprises at least three groups of quasi-zero stiffness units. Each group of quasi-zero stiffness units is formed by a pair of negative stiffness springs (2) and a positive stiffness spring (3) combined together. Each positive stiffness spring (3) is vertically disposed, each pair of negative stiffness springs (2) is obliquely and symmetrically disposed on two sides of the positive stiffness spring (3). Upper ends of the negative stiffness springs (2) and the positive stiffness spring (3) are connected together and fixed to the bottom surface of a rotor (1) of the micropositioner. Lower ends of the negative stiffness springs (2) and the positive stiffness spring (3) are separately connected to a base (4). The negative stiffness system for gravity compensation greatly reduces the stiffness of the system in a gravity action direction, prevents a magnetic circuit adopting a permanent magnet as a gravity compensation structure from affecting elements and components around an environment, and improves bearing capacity.
(FR)La présente invention porte sur un système de raideur négative pour compensation de gravité de micropositionneur, qui est principalement utilisé dans un système de micropositionneur d'étage de tranche d'une machine de photogravure. Le système de raideur négative comprend au moins trois groupes d'unités de raideur quasi-nulle. Chaque groupe d'unités de raideur quasi-nulle est formé par une paire de ressorts (2) de raideur négative et un ressort (3) de raideur positive combinés conjointement. Chaque ressort (3) de raideur positive est disposé verticalement, chaque paire de ressorts (2) de raideur négative est disposée de manière oblique et symétrique sur deux côtés du ressort (3) de raideur positive. Des extrémités supérieures des ressorts (2) de raideur négative et du ressort (3) de raideur positive sont reliées conjointement et fixées à la surface inférieure d'un rotor (1) du micropositionneur. Des extrémités inférieures des ressorts (2) de raideur négative et du ressort (3) de raideur positive sont reliées de manière séparée à une base (4). Le système de raideur négative pour compensation de gravité réduit grandement la raideur du système dans une direction d'action de gravité, empêche un circuit magnétique utilisant un aimant permanent en tant que structure de compensation de gravité d'affecter des éléments et des composants autour d'un environnement, et améliore une capacité de support.
(ZH)一种用于微动台重力补偿的负刚度系统,主要用于光刻机承片台微动台系统中。负刚度系统包括至少三组准-零刚度单元。每一组准-零刚度单元由一对负刚度弹簧(2)与一个正刚度弹簧(3)组合而成,正刚度弹簧(3)竖直布置,一对负刚度弹簧(2)倾斜并对称布置在正刚度弹簧(3)的两侧,负刚度弹簧(2)和正刚度弹簧(3)的上端连接在一起,并与微动台动子(1)底面固定,负刚度弹簧(2)和正刚度弹簧(3)的下端分别连接在基座(4)上。这种重力补偿的负刚度系统大大降低在重力作用方向上的系统刚度,又可以避免采用永磁体作为重力补偿结构的磁路对所在环境周围元器件的影响,同时提高承载能力。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)