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1. (WO2014087746) DISPOSITIF DE FORMATION DE FAISCEAU DE PARTICULES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/087746    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/078138
Date de publication : 12.06.2014 Date de dépôt international : 17.10.2013
CIB :
G01N 15/14 (2006.01), G01N 21/47 (2006.01), G01N 27/62 (2006.01), H01J 49/04 (2006.01)
Déposants : FUJI ELECTRIC CO., LTD. [JP/JP]; 1-1, Tanabeshinden, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2109530 (JP).
THE UNIVERSITY OF TOKYO [JP/JP]; 3-1, Hongo 7-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 1138654 (JP)
Inventeurs : TAKEDA Naoki; (JP).
TABARU Masaya; (JP).
KOIZUMI Kazuhiro; (JP).
HIRAYAMA Noritomo; (JP).
TAKEGAWA Nobuyuki; (JP).
MIYAKAWA Takuma; (JP)
Mandataire : MATSUI Shigeru; 2nd Floor, Ginza Chuo Bldg., 16-5, Ginza 8-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040061 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-264287 03.12.2012 JP
Titre (EN) PARTICLE BEAM FORMING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE FORMATION DE FAISCEAU DE PARTICULES
(JA) 粒子線成形装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a particle beam forming device capable of forming a particle beam, and evaluating and controlling the spatial distribution of the formed particle beam. A particle beam forming device forms a linear or conical particle beam from a particle source in which particles are dispersed in gas, and is provided with: a reduced-pressure container (12) in which the pressure is reduced; a particle beam production means (3) which has one end disposed outside the reduced-pressure container (12) and the other end disposed within the reduced-pressure container (12), takes in the particle source (2) outside the reduced-pressure container (12), and introduces the particle beam into the reduced-pressure container (12); and a particle beam evaluation means which evaluates the spatial distribution of the particle beam within the reduced-pressure container (12). It is preferable that the particle beam evaluation means be provided with: a light application means for applying light to the particle beam; a scattered light detection means (14) for detecting scattered light generated by the light applied to the particle beam hitting the particles; and a signal processing means (15) for recording and processing a signal outputted from the scattered light detection means (14), the signal corresponding to the intensity and/or frequency of the scattered light.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de formation de faisceau de particules pouvant former un faisceau de particules, et évaluer et commander la répartition spatiale du faisceau de particules formé. Selon l'invention, un dispositif de formation de faisceau de particules forme un faisceau de particules linéaire ou conique à partir d'une source de particules dans laquelle des particules sont dispersées dans un gaz, et est équipé : d'un contenant sous pression réduite (12) dans lequel la pression est réduite ; d'un moyen de production de faisceau de particules (3) dont une extrémité est disposée à l'extérieur du contenant sous pression réduite (12) et dont l'autre extrémité est disposée à l'intérieur du contenant sous pression réduite (12), qui prélève dans la source de particules (2) à l'extérieur du contenant sous pression réduite (12) et introduit le faisceau de particules dans le contenant sous pression réduite (12) ; et d'un moyen d'évaluation de faisceau de particules qui évalue la répartition spatiale du faisceau de particules à l'intérieur du contenant sous pression réduite (12). Selon l'invention, on préfère que le moyen d'évaluation de faisceau de particules soit doté : d'un moyen d'application de lumière destiné à appliquer de la lumière au faisceau de particules ; d'un moyen de détection de lumière diffusée (14) destiné à détecter une lumière diffusée générée par la lumière appliquée au faisceau de particules frappant les particules ; et d'un moyen de traitement de signal (15) destiné à enregistrer et à traiter un signal délivré par le moyen de détection de lumière diffusée (14), le signal correspondant à l'intensité et/ou à la fréquence de la lumière diffusée.
(JA) 粒子線を成形し、成形した粒子線の空間分布を評価し、制御できる粒子線成形装置を提供する。 気体中に粒子が分散した粒子源から、線状又は円錐状の粒子線を成形する粒子線成形装置において、内部が減圧された減圧容器12と、一端が減圧容器12外に配され、他端が減圧容器12内に配され、減圧容器12外の粒子源2を取り込み、減圧容器12内に粒子線を導入する粒子線生成手段3と、減圧容器12内での粒子線の空間分布を評価する粒子線評価手段とを備える。その粒子線評価手段は、粒子線に対して光を照射する光照射手段と、粒子線に対して照射された光が粒子に当り生じた散乱光を検出する散乱光検出手段14と、その散乱光の強度及び/又は頻度に対応して散乱光検出手段14から出力される信号を記録し、処理する信号処理手段15とを備えていることが好ましい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)