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1. (WO2014086836) CIRCUIT D'ENTRAÎNEMENT ET DE COMPENSATION POUR DES STRUCTURES MEMS CAPACITIVES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/086836    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/075498
Date de publication : 12.06.2014 Date de dépôt international : 04.12.2013
CIB :
G01C 19/5726 (2012.01)
Déposants : ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITÄT FREIBURG [DE/DE]; Fahnenbergplatz 79085 Freiburg (DE)
Inventeurs : ROMBACH, Stefan; (DE).
MARX, Maximilian; (DE).
MANOLI, Yiannos; (DE)
Mandataire : KUHL, Dietmar; Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Leopoldstrasse 4 80802 München (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2012 222 225.1 04.12.2012 DE
Titre (DE) ANTRIEBS- UND KOMPENSATIONSSCHALTUNG FÜR KAPAZITIVE MEMS-STRUKTUREN
(EN) DRIVE AND COMPENSATION CIRCUIT FOR CAPACITIVE MEMS STRUCTURES
(FR) CIRCUIT D'ENTRAÎNEMENT ET DE COMPENSATION POUR DES STRUCTURES MEMS CAPACITIVES
Abrégé : front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Schaltung zum Ansteuern einer kapazitiven MEMS-Struktur mit mindestens einem zu einer Schwingbewegung anregbaren Schwingerelement und einer elektrostatischen Anregungseinheit, die mindestens einen ersten und einen zweiten Eingangsanschluss besitzt. Die Schaltung umfasst einen Hochspannungsgenerator zum Erzeugen einer Hochspannung aus einer Versorgungsspannung, wobei der Hochspannungsgenerator mit den beiden Eingangsanschlüssen verbindbar ist. Mindestens ein erster und ein zweiter Pumpkondensator lädt die elektrostatische Anregungseinheit auf, wobei ein erster Anschluss des ersten Pumpkondensators mit dem Hochspannungsgenerator verbunden ist und mit dem ersten Eingangsanschluss verbindbar ist, und ein erster Anschluss des zweiten Pumpkondensators mit dem Hochspannungsgenerator verbunden ist und mit dem zweiten Eingangsanschluss verbindbar ist. Eine Steuereinheit ist zum Aufprägen eines Wechselsignals mit zweiten Anschlüssen eines jeden Pumpkondensators verbunden und mindestens ein Niederspannungsoperationsverstärker erzeugt einen Korrekturanteil des Wechselsignals in Abhängigkeit von einer aktuellen Position des Schwingerelements oder von einer anderen Stellgröße.
(EN)The present invention relates to a circuit for controlling a capacitive MEMS structure having at least one oscillator element which can be excited to perform an oscillating movement and an electrostatic excitation unit having at least one first input connection and one second input connection. The circuit comprises a high-voltage generator for generating a high voltage from a supply voltage, wherein the high-voltage generator can be connected to the two input connections. At least one first pump capacitor and one second pump capacitor charge the electrostatic excitation unit, wherein a first connection of the first pump capacitor is connected to the high-voltage generator and can be connected to the first input connection, and a first connection of the second pump capacitor is connected to the high-voltage generator and can be connected to the second input connection. In order to impress an alternating signal, a control unit is connected to second connections of each pump capacitor, and at least one low-voltage operational amplifier generates a correction part of the alternating signal on the basis of a current position of the oscillator element or another manipulated variable.
(FR)L'invention concerne un circuit pour la commande d'une structure MEMS capacitive comportant au moins un élément oscillant pouvant être excité à un mouvement d'oscillation et une unité d'excitation électrostatique qui possède au moins un premier et un deuxième branchement d'entrée. Le circuit comprend un générateur haute tension pour produire une haute tension à partir d'une tension d'alimentation, le générateur haute tension pouvant être raccordé aux deux branchements d'entrée. Au moins un premier et un deuxième condensateur de pompage chargent l'unité électrostatique d'excitation, un premier branchement du premier condensateur de pompage étant relié au générateur haute tension et pouvant être relié au premier branchement d'entrée, et un premier branchement du deuxième condensateur de pompage étant relié au générateur haute tension et pouvant être relié au deuxième branchement d'entrée. Une unité de commande est reliée pour imprimer un signal alternatif aux deuxièmes branchements de chaque condensateur de pompage et au moins un amplificateur opérationnel basse tension produit une part de correction du signal alternatif en fonction d'une position momentanée de l'élément oscillant ou d'une autre variable de réglage.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)