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1. (WO2014086583) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE TRANSPORT D'UN SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/086583    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/074288
Date de publication : 12.06.2014 Date de dépôt international : 20.11.2013
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS ITALIA S.R.L. [--/IT]; Via Postumia Ovest, 244 Frazione Olmi I-31048 San Biagio di Callalta (TV) (IT)
Inventeurs : PASQUALIN, Gianfranco; (IT).
GAJOTTO, Marco; (IT)
Mandataire : ZIMMERMANN & PARTNER; Josephspitalstr. 15 80331 München (DE)
Données relatives à la priorité :
UD2012A000207 03.12.2012 IT
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR TRANSPORTING A SUBSTRATE
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE TRANSPORT D'UN SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus for transporting a substrate (250) is provided. The apparatus comprises a substrate supply (301) for supplying substrates (250) and a conveyor belt unit (302) for transporting the substrates (250), wherein a first part (I) of the conveyor belt unit (302) is positioned above the substrate supply (301).
(FR)L'invention concerne un appareil de transport d'un substrat (250). L'appareil comprend une alimentation en substrat (301) pour alimenter des substrats (250) et une unité de convoyeur à bande (302) pour transporter les substrats (250), la première partie (I) de l'unité de convoyeur à bande (302) étant positionnée au-dessus de l'alimentation en substrat (301).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)