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1. (WO2014085630) ENTRAÎNEMENT PAR PEIGNE MICRO-USINÉ POUR NANO-INDENTATION QUANTITATIVE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/085630    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/072300
Date de publication : 05.06.2014 Date de dépôt international : 27.11.2013
CIB :
G01N 3/42 (2006.01), G01Q 60/36 (2010.01)
Déposants : HYSITRON INCORPORATED [US/US]; 9625 West 76th Street Eden Prairie, Minnesota 55344 (US)
Inventeurs : OH, Yunje; (US).
MAJOR, Ryan; (US).
STAUFFER, Douglas; (US).
SYED ASIF, Syed Amanula; (US)
Mandataire : DICKE, Steven E; Dicke, Billig & Czaja, PLLC 100 South 5th Street Suite 2250 Minneapolis, Minnesota 55402 (US)
Données relatives à la priorité :
13/688,034 28.11.2012 US
Titre (EN) MICROMACHINED COMB DRIVE FOR QUANTITATIVE NANOINDENTATION
(FR) ENTRAÎNEMENT PAR PEIGNE MICRO-USINÉ POUR NANO-INDENTATION QUANTITATIVE
Abrégé : front page image
(EN)A system and method of measuring an interaction force is disclosed. One embodiment includes providing a method of measuring an interaction force including providing a microelectromechanical transducer. The transducer includes a body, a probe moveable relative to the body, and a micromachined comb drive. The micromachined comb drive includes a differential capacitive displacement sensor to provide a sensor output signal representative of an interaction force on the probe. The probe is moved relative to a sample surface. An interaction force is determined between the probe and the sample surface using the sensor output, as the probe is moved relative to the sample surface.
(FR)L'invention concerne un système et un procédé de mesure d'une force d'interaction. Un des modes de réalisation concerne un procédé de mesure d'une force d'interaction comprenant une étape consistant à mettre en place un transducteur micro-électromécanique. Le transducteur comprend un corps, une sonde mobile par rapport au corps et un entraînement par peigne micro-usiné. L'entraînement par peigne micro-usiné comprend un capteur capacitif différentiel de déplacement servant à générer un signal de sortie de capteur représentatif d'une force d'interaction sur la sonde. La sonde est déplacée par rapport à une surface d'échantillon. Une force d'interaction est déterminée entre la sonde et la surface d'échantillon en utilisant la sortie du capteur, tandis que la sonde est déplacée par rapport à la surface d'échantillon.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)