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1. (WO2014085483) MODULES DE MOTEUR, ENSEMBLES D'ENTRAÎNEMENT MOTEUR MULTI-AXE, APPAREIL ROBOT MULTI-AXE, ET SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE PRODUCTION DE DISPOSITIFS ÉLECTRONIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/085483    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/072053
Date de publication : 05.06.2014 Date de dépôt international : 26.11.2013
CIB :
B25J 9/08 (2006.01), H02K 16/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : KREMERMAN, Izya; (US)
Mandataire : DUGAN, Brian M.; DUGAN & DUGAN, PC 245 Saw Mill River Road, Suite 309 Hawthorne, New York 10532 (US)
Données relatives à la priorité :
61/732,196 30.11.2012 US
Titre (EN) MOTOR MODULES, MULTI-AXIS MOTOR DRIVE ASSEMBLIES, MULTI-AXIS ROBOT APPARATUS, AND ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMS AND METHODS
(FR) MODULES DE MOTEUR, ENSEMBLES D'ENTRAÎNEMENT MOTEUR MULTI-AXE, APPAREIL ROBOT MULTI-AXE, ET SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE PRODUCTION DE DISPOSITIFS ÉLECTRONIQUES
Abrégé : front page image
(EN)Motor modules for multi-arm robot apparatus are described. The motor modules can be used individually or stacked and assembled to make up one-axis, 2-axis, 3-axis, 4-axis, 5-axis, 6-axis motor assemblies, or more. One or more of the motor modules have a stator assembly including a stator received in the stator housing, and a rotor assembly abutting the stator assembly, the rotor assembly including a rotor housing, a drive shaft, a bearing assembly supporting the drive shaft, and a rotor coupled to the drive shaft. A vacuum barrier member is positioned between the rotor and the stator. Multi-axis motor drive assemblies, multi-axis robot apparatus, electronic device manufacturing systems, and methods of assembling drive assemblies are described, as are numerous other aspects.
(FR)La présente invention concerne des modules moteur pour un appareil robot multi-bras. Les modules moteur peuvent être utilisés individuellement ou empilés et assemblés de manière à produire des ensembles moteurs à 1, 2, 3, 4, 5, 6 axes ou plus. Un ou plusieurs des modules moteur sont dotés d'un ensemble de stator comprenant un stator logé dans un carter de stator et un ensemble de rotor en appui sur l'ensemble de stator, l'ensemble de rotor comprenant un carter de rotor, un arbre primaire, un ensemble de palier qui supporte l'arbre primaire, et un rotor couplé à l'arbre primaire. Un élément de barrière à vide est positionné entre le rotor et le stator. La présente invention concerne également des ensembles d'entraînement moteur multi-axe, un appareil robot multi-axe, des systèmes de production de dispositif électronique, et des procédés d'assemblage d'ensembles d'entraînement, et de nombreux autres aspects.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)