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1. (WO2014085310) NITRURE DE MÉTAL ADHÉSIF SUR VERRE ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/085310    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/071639
Date de publication : 05.06.2014 Date de dépôt international : 25.11.2013
CIB :
C03C 17/34 (2006.01), C03C 17/36 (2006.01), H01L 28/75, H01L 28/91
Déposants : QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 5775 Morehouse Drive San Diego, California 92121-1714 (US)
Inventeurs : PUSHPARAJ, Victor Louis Arockiaraj; (US).
SHENOY, Ravindra V.; (US).
LASITER, Jon Bradley; (US).
LAI, Kwan-Yu; (US).
KIDWELL, Donald William; (US).
LONDERGAN, Ana Rangelova; (US)
Mandataire : HO, Michael T.; Weaver Austin Villeneuve & Sampson LLP P.O. Box 70250 Oakland, California 94612-0250 (US)
Données relatives à la priorité :
13/686,620 27.11.2012 US
Titre (EN) ADHESIVE METAL NITRIDE ON GLASS AND RELATED METHODS
(FR) NITRURE DE MÉTAL ADHÉSIF SUR VERRE ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS
Abrégé : front page image
(EN)This disclosure provides systems, methods and apparatus for an adhesive metal nitride layer on glass. In one aspect, a glass substrate having a surface is provided. A via with a depth to width aspect ratio of 5 to 1 or greater extends at least partially through the glass substrate. An adhesive metal nitride layer is disposed on the surface of the glass substrate and on one or more interior surfaces of the via. The adhesive metal nitride layer includes at least one of titanium nitride and tantalum nitride.
(FR)La présente invention concerne des systèmes, des procédés et un appareil pour une couche de nitrure de métal adhésif sur du verre. Dans un aspect, un substrat de verre ayant une surface est décrit. Un trou d’interconnexion ayant un facteur de forme profondeur/largeur de 5 à 1 ou plus s’étend au moins partiellement à travers le substrat de verre. Une couche de nitrure de métal adhésif est disposée sur la surface du substrat de verre et sur une ou plusieurs surfaces intérieures du trou d’interconnexion. La couche de nitrure de métal adhésif comprend au moins un parmi le nitrure de titane et le nitrure de tantale.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)