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1. (WO2014085163) ROBOT DE MANIPULATION DE SUBSTRAT À CONTRÔLE DE VIBRATIONS, SYSTÈMES ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/085163    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/071037
Date de publication : 05.06.2014 Date de dépôt international : 20.11.2013
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01), B25J 9/16 (2006.01), B25J 19/02 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : MERRY, Nir; (US).
HUDGENS, Jeffrey C.; (US).
MINKOVICH, Alex; (US).
TILL, Brendan; (US)
Mandataire : DUGAN, Brian M.; DUGAN & DUGAN, PC 245 Saw Mill River Road, Suite 309 Hawthorne, New York 10532 (US)
Données relatives à la priorité :
61/731,816 30.11.2012 US
Titre (EN) VIBRATION-CONTROLLED SUBSTRATE HANDLING ROBOT, SYSTEMS, AND METHODS
(FR) ROBOT DE MANIPULATION DE SUBSTRAT À CONTRÔLE DE VIBRATIONS, SYSTÈMES ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments disclose a vibration-controlled robot apparatus. The apparatus includes a robot having an end effector operable to transport a substrate, a sensor coupled to the robot, the sensor operable to sense vibration as the robot transports the substrate, and operating the robot to reduce vibration of the end effector supporting the substrate. In some embodiments, a filter is provided in the motor drive circuit to filter one or more frequencies causing unwanted vibration of the end effector. Vibration control systems and methods of operating the same are provided, as are other aspects.
(FR)Selon des modes de réalisation, la présente invention concerne un appareil robot à contrôle de vibrations. L'appareil selon l'invention comprend un robot ayant un effecteur d'extrémité permettant de transporter un substrat ; un capteur couplé au robot, le capteur servant à détecter des vibrations lorsque le robot transporte le substrat, et commandant le robot de sorte à réduire les vibrations de l'effecteur d'extrémité supportant le substrat. Dans certains modes de réalisation, un filtre est disposé dans le circuit d'attaque de moteur en vue de filtrer une ou plusieurs fréquences provoquant des vibrations indésirables de l'effecteur d'extrémité. L'invention concerne également des systèmes et des procédés de contrôle de vibrations pour le fonctionnement dudit appareil, ainsi que d'autres aspects.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)