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1. (WO2014083633) APPAREIL DE TRANSFERT DE SUBSTRATS ET PROCÉDÉ DE REMPLACEMENT DUDIT APPAREIL DE TRANSFERT DE SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/083633    N° de la demande internationale :    PCT/JP2012/080727
Date de publication : 05.06.2014 Date de dépôt international : 28.11.2012
CIB :
H05K 13/04 (2006.01), H01L 21/50 (2006.01)
Déposants : FUJI MACHINE MFG. CO., LTD. [JP/JP]; 19, Chausuyama, Yamamachi, Chiryu-shi, Aichi 4728686 (JP)
Inventeurs : TAKAGI Takanori; (JP).
TSUCHIYA Yusuke; (JP).
OKADA Takehito; (JP)
Mandataire : KOBAYASHI Osamu; KAWASHIMA Bldg. 2nd Floor, 19-13, Kanayamacho 1-chome, Atsuta-ku, Nagoya-shi, Aichi 4560002 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND METHOD FOR CHANGING SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRANSFERT DE SUBSTRATS ET PROCÉDÉ DE REMPLACEMENT DUDIT APPAREIL DE TRANSFERT DE SUBSTRATS
(JA) 基板搬送装置及び基板搬送装置の変更方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a substrate transfer apparatus whereby changing operations can be easily performed even in the cases of transferring pallets having different shapes in the height direction. This substrate transfer apparatus is provided with: a pallet pressing member (15), which has both the sides thereof fixed to upper ends of a supporting member (12); a conveyer belt (13a) that is provided along the inner side of the supporting member (12); a clamp supporting member (17) that is movably provided in the vertical direction; a pallet (16), which is transferred by having the placing surfaces (16w, 16x) thereof placed on the conveyer belt (13a), said placing surfaces being formed on lower ends on both the sides, and which has a surface to be pressed (16y) formed on the lower surfaces on both the sides, and has a plurality of substrates (999) mounted thereon; a clamp member (14), which is provided on the clamp supporting member (17), and which presses up, at the upper end thereof, the surface to be pressed (16y); and a block (18), which is capable of adjusting a second gap distance (β) between the upper surface of the clamp supporting member (17) and an upper end of the clamp member (14), corresponding to a first gap distance (α) between the placing surfaces (16w, 16x) and the surface to be pressed (16y).
(FR)La présente invention concerne un appareil de transfert de substrats grâce auquel des opérations de remplacement peuvent être facilement effectuées même en cas de transfert de palettes ayant des formes différentes dans le sens de la hauteur. Ledit appareil de transfert de substrats est muni : d'un élément de pression de palettes (15), dont les deux côtés sont fixés sur les extrémités supérieures d'un élément de support (12) ; d'une courroie transporteuse (13a) prévue le long du côté intérieur dudit élément de support (12) ; d'un élément de support de pince (17) prévu de manière mobile dans la direction verticale ; d'une palette (16), qui est transférée avec ses surfaces de placement (16w, 16x) disposées sur ladite courroie transporteuse (13a), lesdites surfaces de placement étant formées sur les extrémités inférieures des deux côtés, et qui possède une surface à presser (16y) formée sur les surfaces inférieures des deux côtés, une pluralité de substrats (999) étant montés sur ladite palette (16) ; d'une pince (14), qui est prévue sur ledit élément de support de pince (17), et qui presse vers le haut, au niveau de son extrémité supérieure, la surface à presser (16y) ; et d'un bloc (18), qui est capable de régler un second espace (β) entre la surface supérieure dudit élément de support de pince (17) et une extrémité supérieure de ladite pince (14), qui correspond à un premier espace (α) entre les surfaces de placement (16w, 16x) et la surface à presser (16y).
(JA) 高さ方向の形状が異なるパレットを搬送する場合であっても、容易に変更作業を行うことができる基板搬送装置を提供する。 両側が支持部材12の上端に固定されたパレット押さえ部材15と、支持部材12の内側に沿って設けられたコンベアベルト13aと、上下方向に移動可能に設けられたクランプ支持部材17と、両側の下端に形成された被載置面16w、16xでコンベアベルト13a上に載置されて搬送され、両側下面に被押面16yが形成され、複数の基板999が搭載されるパレット16と、クランプ支持部材17上に設けられ、上端で被押面16yを押し上げるクランプ部材14と、被載置面16w、16xと被押面16yとの第一離間距離αに応じて、クランプ支持部材17上面とクランプ部材14上端の第二離間距離βを調整可能なブロック18と、を有する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)