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1. (WO2014083358) PROCÉDURE D'ÉTALONNAGE DE SONDE OU DE MESURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/083358    N° de la demande internationale :    PCT/GB2013/053172
Date de publication : 05.06.2014 Date de dépôt international : 29.11.2013
CIB :
G01Q 20/02 (2010.01), G01Q 40/00 (2010.01), G01B 9/02 (2006.01), B82Y 35/00 (2011.01)
Déposants : INFINITESIMA LIMITED [GB/GB]; 1 HITCHING COURT BLACKLANDS WAY ABINGDON OX14 1RG (GB)
Inventeurs : HUMPHRIS, Andrew; (GB)
Mandataire : RIBEIRO, James; 4 More London Riverside London SE1 2AU (GB)
Données relatives à la priorité :
1221524.0 29.11.2012 GB
Titre (EN) PROBE CALIBRATION OR MEASUREMENT ROUTINE
(FR) PROCÉDURE D'ÉTALONNAGE DE SONDE OU DE MESURE
Abrégé : front page image
(EN)A method of performing a measurement routine on a probe, the probe comprising a cantilever extending from a support. An interferometer is operated to reflect a sensing beam with the cantilever thereby generating a reflected sensing beam and combine the reflected sensing beam with a reference beam to generate an interferogram. The interferometer generates a first interference measurement value at a first measurement time by measuring the interferogram and a second interference measurement value at a second measurement time by measuring the interferogram, The cantilever deforms to form a different shape between the measurement times. A change in height of the probe between the measurement times is estimated in accordance with a difference between the first and second interference measurement values, and corrected in accordance with the difference in shape of the cantilever between the measurement times.
(FR)L'invention concerne un procédé de réalisation d'une procédure de mesure sur une sonde, la sonde comportant un élément en porte-à-faux s'étendant à partir d'un appui. Un interféromètre est utilisé pour réfléchir un faisceau de détection à l'aide de l'élément en porte-à-faux, générant ainsi un faisceau réfléchi de détection et pour combiner le faisceau réfléchi de détection avec un faisceau de référence de façon à générer un interférogramme. L'interféromètre génère une première valeur de mesure d'interférence à un premier instant de mesure en mesurant l'interférogramme et une deuxième valeur de mesure d'interférence à un deuxième instant de mesure en mesurant l'interférogramme. L'élément en porte-à-faux se déforme pour adopter une forme différente entre les instants de mesure. Une variation de hauteur de la sonde entre les instants de mesure est estimée en fonction d'un écart entre les première et deuxième valeurs de mesure d'interférence, et corrigée en fonction de la différence de forme de l'élément en porte-à-faux entre les instants de mesure.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)