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1. (WO2014082811) GÉNÉRATEUR DE GOUTTELETTES, SOURCE DE RAYONNEMENT EN ULTRAVIOLET EXTRÊME (UVE), APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE GOUTTELETTES ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/082811    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/072689
Date de publication : 05.06.2014 Date de dépôt international : 30.10.2013
CIB :
H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : DIJKSMAN, Johan; (NL).
BADIE, Ramin; (NL).
HULTERMANS, Ronald; (NL).
LABETSKI, Dzmitry; (NL)
Mandataire : SIEM, Max Yoe Shé; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
61/732,087 30.11.2012 US
61/751,200 10.01.2013 US
Titre (EN) DROPLET GENERATOR, EUV RADIATION SOURCE, LITHOGRAPHIC APPARATUS, METHOD FOR GENERATING DROPLETS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) GÉNÉRATEUR DE GOUTTELETTES, SOURCE DE RAYONNEMENT EN ULTRAVIOLET EXTRÊME (UVE), APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE GOUTTELETTES ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abrégé : front page image
(EN)A droplet generator, for an EUV radiation source, comprises: a capillary in which, in use, molten material flows; an actuator configured to modulate a pressure inside the capillary; and a controller configured to drive the actuator at a driving frequency; wherein the droplet generator is arranged such that, in use, the driving frequency is equal or about equal to a main resonance frequency of the molten material in the capillary.
(FR)La présente invention porte sur un générateur de gouttelettes, pour source de rayonnement en ultraviolet extrême (UVE), qui comprend : un capillaire dans lequel, en utilisation, une matière en fusion s'écoule ; un actionneur configuré pour moduler une pression à l'intérieur du capillaire ; et un dispositif de commande configuré pour commander l'actionneur à une fréquence de commande ; le générateur de gouttelettes étant agencé de telle sorte que, en utilisation, la fréquence de commande est égale ou environ égale à une fréquence de résonance principale de la matière en fusion dans le capillaire.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)